特許

J-GLOBAL ID：201403064676260572

昇華精製方法および昇華精製装置

発明者： 丹羽 和裕 ,  吉田 真司 ,  稲本 吉宏
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  永野 大介 ,  藤井 兼太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-148248
公開番号（公開出願番号）：特開2014-008483
出願日： 2012年07月02日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：

【課題】本発明は、昇華精製中に昇華精製管の内壁面の温度に影響を与えることなく被処理物質の凝結量を把握することを目的とするものである。【解決手段】昇華精製装置1は流入口2と流出口3を有する昇華精製管4と減圧手段5と加熱手段6a、6bと不活性ガス供給手段7と紫外線吸光度測定装置8を備えている。減圧された昇華精製管4の内部において、被処理物質11を加熱することで昇華させ、さらに不活性ガス供給手段7により流入口2から昇華精製管4に供給されて流出口3より排出される不活性ガス12により、昇華された被処理物質11を搬送し、不活性ガス12の搬送方向に沿って温度勾配を有するように加熱した昇華精製管4の内壁面に、搬送された被処理物質11を凝結させる。紫外線吸光度測定装置8で昇華精製管4の紫外線吸光度を測定し、昇華精製中の紫外線吸光度の変化から被処理物質11の凝結度合いを把握することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

内部を減圧した昇華精製管内で昇華させた被処理物質を不活性ガスにより搬送し、温度勾配を有するように加熱した前記昇華精製管の内壁面に昇華した前記被処理物質を凝結させる昇華精製方法であって、 前記昇華精製管の紫外線吸光度を測定することで、前記被処理物質の凝結量を把握する昇華精製方法。

IPC (3件)：

B01D 7/02 ,  G01N 21/59 ,  G01N 21/27

FI (3件)：

B01D7/02 ,  G01N21/59 Z ,  G01N21/27 Z

Fターム (22件)：

2G059AA05 ,  2G059BB09 ,  2G059CC12 ,  2G059DD16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG02 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ05 ,  2G059KK02 ,  2G059KK04 ,  4D076AA14 ,  4D076BD07 ,  4D076CB01 ,  4D076CD22 ,  4D076DA02 ,  4D076DA22 ,  4D076EA20X ,  4D076EA35 ,  4D076HA12 ,  4D076JA02