特許

J-GLOBAL ID：201403064801865767

吸着プレート

発明者： 小 林 淳
出願人/特許権者： 株式会社アドテックエンジニアリング
代理人 (1件)： 高橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-245104
公開番号（公開出願番号）：特開2014-092768
出願日： 2012年11月07日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：

【課題】塵埃除去の容易な吸着プレートを提供する。【解決手段】吸着プレート1には2つの平面4角形の吸着溝2が形成され、この吸着溝2に連結する吸引装置3によりプリント配線基板9を吸着固定するように構成されている。吸着溝2は、断面半円形状の溝になっており、従来のように溝底部に角が形成されないように構成され、吸着溝2の深さは溝幅の2分の1以上とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板を吸着固定する吸着プレートであって、 該基板を吸着固定する面に形成された吸着溝と、 該吸着溝に連通して、該吸着溝を負圧にする吸引装置と、を備え、 前記吸着溝の側面と底面の境界が円弧形状になっている、 ことを特徴とする吸着プレート。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  H01L21/30 503C ,  H05K3/00 H

Fターム (4件)：

2H097BA04 ,  2H097LA09 ,  5F146CC08 ,  5F146CC10