特許

J-GLOBAL ID：201403065112746781

複合センサ

発明者： 大越 偉生 ,  森仲 克也 ,  中村 大輔
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  永野 大介 ,  藤井 兼太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-151088
公開番号（公開出願番号）：特開2014-013207
出願日： 2012年07月05日
公開日（公表日）： 2014年01月23日
要約：

【課題】本発明は、角速度検出素子からの漏れ振動に起因して生じる加速度センサのノイズを抑制し、小型化とノイズ低減を両立した複合センサを提供することを目的とする。【解決手段】角速度検出素子と、加速度検出素子と、前記角速度検出素子と前記加速度検出素子とを支持する基板と、前記角速度検出素子と前記基板との間を接続する第1の接続部と、前記加速度検出素子と前記基板との間を接続する第2の接続部と、を少なくとも備え、前記第2の接続部の高さは、前記第1の接続部の高さより小さい構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

角速度検出素子と、 加速度検出素子と、 前記角速度検出素子と前記加速度検出素子とを支持する基板と、 前記角速度検出素子と前記基板との間を接続する第1の接続部と、 前記加速度検出素子と前記基板との間を接続する第2の接続部と、 を少なくとも備え、 前記第2の接続部の高さは、前記第1の接続部の高さより小さい複合センサ。

IPC (6件)：

G01C 19/562 ,  G01P 15/08 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09

FI (6件)：

G01C19/56 121 ,  G01P15/08 P ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C

Fターム (14件)：

2F105AA01 ,  2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB03 ,  2F105BB13 ,  2F105BB17 ,  2F105CC01 ,  2F105CC11 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13