特許
J-GLOBAL ID：201403065289828508

計測顕微鏡装置、画像生成方法及び計測顕微鏡装置操作プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体

発明者：
高橋 晋也

高橋 晋也 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (2件)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-263871
公開番号（公開出願番号）：特開2014-109492
出願日： 2012年11月30日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
要約：
【課題】計測の精度を低下させることなく、広い視野の画像を撮像可能とする。【解決手段】対象物を載置するためのステージと、高さ画像又は観察画像を表示させるための表示手段と、表示手段に表示された高さ画像に対して計測を行うための計測手段と、ステージを移動させて連結用のマージンを含む異なる領域を撮像手段により撮像することにより、複数の連結用高さ画像及び連結用観察画像を取得し、得られた複数枚の連結用高さ画像及び連結用観察画像を連結して、連結画像を生成可能な画像連結手段と、画像連結手段により連結を行う各領域に対応した対象物の画像上に、高さの測定結果が異常となる測定異常領域を重ねて表示可能な測定異常領域表示手段と、測定異常領域を表示させた状態で、測定異常領域を低減させるように、高さ画像の生成に必要な縞画像の撮像条件を調整するための測定画像撮像条件設定手段とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象物に対して斜め方向から測定光を所定のパターンの構造化照明として投光するための測定光投光手段である、第一の方向から対象物に対して第一測定光を照射可能な第一測定光投光手段と、 観察画像の撮像時の照明光を発生させるための観察用照明光源と、 前記第一測定光投光手段で投光され、対象物で反射された測定光を取得して複数の縞画像を撮像し、また前記観察用照明光源を用いてテクスチャ情報を有する観察画像を撮像するための撮像手段と、 前記複数の縞画像に基づいて高さ情報を有する高さ画像を取得するための高さ画像取得手段と、 対象物を載置するためのステージと、 前記高さ画像又は観察画像を表示させるための表示手段と、 前記表示手段に表示された高さ画像に対して計測を行うための計測手段と、 前記ステージを移動させて連結用のマージンを含む異なる領域を前記撮像手段により撮像することにより、複数の連結用高さ画像及び連結用観察画像を取得し、得られた複数枚の連結用高さ画像及び連結用観察画像を連結して、連結画像を生成可能な画像連結手段と、 前記画像連結手段により連結を行う各領域に対応した対象物の画像上に、高さの測定結果が異常となる測定異常領域を重ねて表示可能な測定異常領域表示手段と、 前記測定異常領域を表示させた状態で、測定異常領域を低減させるように、高さ画像の生成に必要な縞画像の撮像条件を調整するための測定画像撮像条件設定手段と を備えることを特徴とする計測顕微鏡装置。
IPC (5件)：
G01B 11/25 ,  G01B 9/04 ,  G02B 21/00 ,  G01B 11/24 ,  H04N 5/225
FI (7件)：
G01B11/25 H ,  G01B9/04 ,  G02B21/00 ,  G01B11/24 A ,  H04N5/225 Z ,  H04N5/225 F ,  H04N5/225 A
Fターム (85件)：
2F064MM05 ,  2F064MM24 ,  2F064MM31 ,  2F064MM36 ,  2F064MM39 ,  2F064MM45 ,  2F064MM50 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA31 ,  2F065AA46 ,  2F065AA50 ,  2F065AA51 ,  2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065AA58 ,  2F065AA59 ,  2F065BB05 ,  2F065DD06 ,  2F065DD12 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF26 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL01 ,  2F065LL18 ,  2F065LL22 ,  2F065LL53 ,  2F065NN02 ,  2F065NN06 ,  2F065NN12 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR09 ,  2F065SS02 ,  2F065SS03 ,  2F065SS09 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  2H052AC04 ,  2H052AC09 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25 ,  5C122DA13 ,  5C122DA30 ,  5C122DA35 ,  5C122EA61 ,  5C122EA68 ,  5C122FA02 ,  5C122FA04 ,  5C122FA05 ,  5C122FA11 ,  5C122FC01 ,  5C122FC02 ,  5C122FH10 ,  5C122FH15 ,  5C122FH20 ,  5C122FK23 ,  5C122FL02 ,  5C122GG03 ,  5C122GG28 ,  5C122HA13 ,  5C122HA35 ,  5C122HA82
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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