特許

J-GLOBAL ID：201403065509618356

欠陥修正装置、欠陥修正システム、および欠陥修正方法

発明者： 今井 克樹
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-239045
公開番号（公開出願番号）：特開2014-089309
出願日： 2012年10月30日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：

【課題】対象物における修正が必要な欠陥を正確に検出すると共に、当該欠陥を修正すること。【解決手段】欠陥修正装置(1)では、最後の検査動作において修正対象欠陥に分類された欠陥を抽出すると共に、最後の検査動作において修正非対象欠陥に分類された欠陥のうち、以前のいずれかの検査動作において修正非対象欠陥に分類された欠陥と位置座標が一致する欠陥を抽出し、抽出した欠陥を有する対象物に対して修正処理を実行する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の対象物の欠陥を検出する検出動作を複数回実行する検出手段と、 上記検出手段による上記検出動作ごとに、上記検出動作において検出された上記欠陥を、修正処理の実行対象とする修正対象欠陥と、上記修正処理の非実行対象とする修正非対象欠陥とに分類する検査動作を実行する検査手段と、 各上記検出動作において検出された上記欠陥の位置座標と、各上記検査動作における分類結果とを記憶する記憶手段と、 上記検査手段による最後の上記検査動作において上記修正対象欠陥に分類された上記欠陥を抽出すると共に、上記最後の検査動作において上記修正非対象欠陥に分類された上記欠陥のうち、上記最後の検査動作以前のいずれかの上記検査動作において上記修正非対象欠陥に分類された上記欠陥と位置座標が一致する上記欠陥を抽出する抽出手段と、 上記抽出手段によって抽出された上記欠陥を有する上記対象物に対して、上記修正処理を実行する修正手段とを備えることを特徴とする欠陥修正装置。

IPC (4件)：

G02F 1/13 ,  G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30

FI (5件)：

G02F1/13 101 ,  G01N21/88 J ,  G01B11/24 F ,  G01B11/24 K ,  G01B11/30 A

Fターム (24件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR08 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051EA14 ,  2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20