特許

J-GLOBAL ID：201403066503950258

太陽電池セルの製造方法

発明者： 沖本 聖 ,  野々垣 光裕 ,  中谷 光徳 ,  川崎 隆裕
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-039295
公開番号（公開出願番号）：特開2014-167979
出願日： 2013年02月28日
公開日（公表日）： 2014年09月11日
要約：

【課題】微小凹凸構造を破壊することなく異物除去を行ない、光電変換効率の優れた太陽電池セルを歩留まり良く得ること。【解決手段】本発明にかかる太陽電池セルの製造方法は、テクスチャ構造を有する第1の表面側に、第2導電型の半導体層3を有する第1導電型の結晶系半導体基板を用意する工程と、第2導電型の半導体層3上に反射防止膜4を形成する工程と、反射防止膜4表面の異物14除去を行う工程と、反射防止膜4上に、第2導電型の半導体層3に電気的に接続する受光面側電極を形成する工程とを含むことを特徴とする。【選択図】図4-3

請求項（抜粋）：

テクスチャ構造を有する第1の表面側に、第2導電型の半導体層を有する第1導電型の結晶系半導体基板を用意する工程と、 前記第2導電型の半導体層上に反射防止膜を形成する工程と、 前記反射防止膜表面の異物除去を行う工程と、 前記反射防止膜上に、前記第2導電型の半導体層に電気的に接続する受光面側電極を形成する工程とを含むことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。

IPC (2件)：

H01L 31/04 ,  H01L 31/06

FI (2件)：

H01L31/04 F ,  H01L31/04 A

Fターム (8件)：

5F151AA02 ,  5F151CB12 ,  5F151CB14 ,  5F151CB27 ,  5F151CB30 ,  5F151FA14 ,  5F151GA04 ,  5F151HA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 太陽電池セルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-111335   出願人：三菱電機株式会社
• 基板表面洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-145978   出願人：三菱化学株式会社
• 多孔質成長基板クリーニング装置およびシート状基板作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-123401   出願人：シャープ株式会社