特許
J-GLOBAL ID：201403067171999815

荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法

発明者：
山本 琢磨

山本 琢磨 について

, 
船越 知弘

船越 知弘 について

, 
谷本 憲史

谷本 憲史 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (3件)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-236901
公開番号（公開出願番号）：特開2014-086393
出願日： 2012年10月26日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：
【課題】異なるレイヤ間におけるパターンの重ね合わせずれ量を正確に測定可能とする。【解決手段】荷電粒子線装置に、1つの照射条件で荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子線源と、照射領域内の第1のレイヤに形成された第1のパターンから発生される信号を検出する第1の検出器と、照射領域内の第2のレイヤに形成された第2のパターンから発生される信号を、第1の検出器と同時に検出する第2の検出器と、第1及び第2の検出器から出力される第1及び第2の検出信号に基づいて第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量を計算する画像処理部とを設ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
1つの照射条件で荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子線源と、 測定領域内の第1のレイヤに形成された第1のパターンから発生される信号を検出する第1の検出器と、 測定領域内の第2のレイヤに形成された第2のパターンから発生される信号を、第1の検出器と同時に検出する第2の検出器と、 前記第1及び第2の検出器から出力される第1及び第2の検出信号に基づいて前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量を測定する画像処理部と を有する荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28
FI (3件)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 B
Fターム (7件)：
5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP06 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU08 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM