特許
J-GLOBAL ID：201403067545924563
基板処理装置および基板処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-160395
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022589
出願日： 2012年07月19日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
要約：
【課題】単純な構成でコストの増加を抑制しつつ基板処理におけるスループットを低下させることなく基板の処理精度を向上させることが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】ハンドH1による基板Wの受け取り位置および基板Wの載置位置を示す座標情報に基づいて基板Wが搬送される。基板Wが第1の位置p1からずれていると、基板Wの中心wcがハンドH1の正規位置からずれた状態で基板WがハンドH1により受け取られる。基板Wを保持するハンドH1が第2の位置p2に向かって移動する。基板Wが載置される前に、基板Wの外周部の複数の部分が検出される。検出結果に基づいて、ハンドH1の正規位置に対する基板Wのずれdが検出され、第2の位置p2においてハンドH1により載置されることになる基板Wの中心wcの位置と第2の位置の中心pp2とのずれが相殺されるように座標情報が補正される。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
基板に処理を行う基板処理装置であって、
基板を支持する支持部を有し、前記支持部により支持された基板に処理を行うように構成された処理ユニットと、
基板を保持するように構成された第1の保持部を有し、前記第1の保持部を移動させることにより基板を搬送するように構成された搬送装置と、
前記搬送装置の前記第1の保持部が基板を前記処理ユニットの前記支持部の所定位置に載置するように前記搬送装置を制御するための制御情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部により記憶された制御情報に基づいて前記搬送装置を制御する制御部と、
前記第1の保持部が基板を前記支持部上に載置する前に、前記第1の保持部により移動される基板の外周部の複数の部分をそれぞれ検出するように設けられた複数の検出器とを備え、
前記制御部は、前記第1の保持部が基板を前記支持部上に載置する前に、前記複数の検出器の出力信号に基づいて、前記支持部上において前記第1の保持部により載置されることになる基板の位置と前記所定位置とのずれが相殺されるように前記制御情報を補正し、補正された制御情報に基づいて前記搬送装置を制御するように構成される、基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677
, H01L 21/027
H01L21/68 A
, H01L21/30 502J
, H01L21/30 562
5F131AA02
, 5F131BA12
, 5F131BA14
, 5F131BB02
, 5F131BB03
, 5F131CA18
, 5F131CA32
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA36
, 5F131DA42
, 5F131DB03
, 5F131DB22
, 5F131DB72
, 5F131DD03
, 5F131DD43
, 5F131DD76
, 5F131EA06
, 5F131EA24
, 5F131EB01
, 5F131KA15
, 5F131KA44
, 5F131KA47
, 5F131KB05
, 5F131KB53
, 5F131KB58
, 5F146CD01
, 5F146CD03
, 5F146CD05
, 5F146CD10
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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