特許
J-GLOBAL ID：201403067661898766
露光ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
特許業務法人 英知国際特許事務所
, 小橋 立昌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-192694
公開番号（公開出願番号）：特開2014-048546
出願日： 2012年08月31日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：
【課題】半導体製造工程(リソグラフィ工程)で発光素子とその発光素子に接続される配線を形成することで、複数の発光素子を高密度に配置可能にすること。【解決手段】露光ヘッド1は、半導体基板10と半導体基板10に形成された露光光源部2と駆動部3を備え、露光光源部2は複数の発光素子を備え、複数の発光素子は、半導体基板10を共通の半導体層とするpn接合部を発光部として備え、発光部毎の電極とその電極に接続される配線が半導体基板10上にパターン形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板に複数の発光素子を備えた露光光源部を形成し、
前記発光素子は、前記半導体基板を共通の半導体層とするpn接合部を発光部として備え、
前記発光部毎の電極及び該電極間に接続される配線が前記半導体基板上にパターン形成されていることを特徴とする露光ヘッド。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F7/20 501
, H01L21/30 519
, H01L21/30 529
2H097CA03
, 5F146BA06
, 5F146CA09
, 5F146CA10
