特許

J-GLOBAL ID：201403067678014888

液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及びその製造方法

発明者： 平井 栄樹
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-276558
公開番号（公開出願番号）：特開2014-117925
出願日： 2012年12月19日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：

【課題】電極や配線層の剥離を抑制すると共に圧電体層のダメージを抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口21に連通する圧力発生室12を有する流路形成基板10と、該流路形成基板10の一方面側に設けられた第1電極60と、圧電体層70と、第2電極80と、前記第1電極60及び前記第2電極80に電気的に接続された配線層90と、を有する圧電素子300と、を具備し、前記配線層90が、前記第1電極60及び前記第2電極80側に設けられた密着層191と、該密着層191の前記第1電極60及び前記第2電極80とは反対面側に設けられた導電層192と、を具備し、該密着層191が、少なくとも前記圧電体層70に覆われていない前記第1電極60及び前記第2電極80の表面に亘って延設されている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を有する流路形成基板と、 該流路形成基板の一方面側に設けられた第1電極と、圧電体層と、第2電極と、前記第1電極及び前記第2電極に電気的に接続された配線層と、を有する圧電素子と、を具備し、 前記配線層が、前記第1電極及び前記第2電極側に設けられた密着層と、該密着層の前記第1電極及び前記第2電極とは反対面側に設けられた導電層と、を具備し、 該密着層が、少なくとも前記圧電体層に覆われていない前記第1電極及び前記第2電極の表面に亘って延設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (11件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/39 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/08 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105

FI (14件)：

B41J3/04 103A ,  H01L41/08 L ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 Z ,  H01L27/10 444C

Fターム (20件)：

2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AP35 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5F083FR00 ,  5F083GA27 ,  5F083JA13 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA45 ,  5F083PR05 ,  5F083PR06 ,  5F083PR23