液処理装置及び液処理方法並びに液処理用記憶媒体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-165319
公開番号（公開出願番号）：特開2014-027068
出願日： 2012年07月26日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】液処理により発生したミストを除去した排気を処理カップ内に循環させて、排気の有効利用を図ると共に、工場側へ排出する排気流量の削減及び工場側排気用力の削減を図り、処理カップへの供給風流を低減する。【解決手段】上端が開放する処理カップ50内に配設され、ウエハWを水平に保持するスピンチャック41と、ウエハの表面にレジスト液を供給するレジストノズル44と、ウエハの周囲雰囲気を排気する排気機構60と、を具備し、排気機構は、処理カップの排気口54に接続され、ブロアファン62を介設する排気流路61と、排気流路から分岐して処理カップに連通する循環流路63と、排気流路における分岐部を含む該分岐部の一次側又は循環流路に介設されるミストトラップ64と、排気流路に介設される開閉及び開度調整可能な第1の調整弁Vaと、ミストトラップの二次側の排気流路に介設される開閉可能な第2の調整弁Vbと、を具備する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

上端が開放する処理カップ内に配設され、基板を水平に保持する基板保持部と、上記基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、上記基板の表面に処理液を供給する処理液供給部と、上記基板保持部に保持された基板の周囲雰囲気を排気する排気機構と、を具備する液処理装置において、上記排気機構は、上記処理カップの底部に設けられた排気口に接続され、排気装置を介設する排気流路と、上記排気流路から分岐して上記処理カップに連通する循環流路と、上記排気流路における上記分岐部を含む該分岐部の一次側又は上記循環流路に介設される気液分離器と、上記排気流路に介設される開閉及び開度調整可能な第1の調整弁と、上記気液分離器の二次側の排気流路に介設される開閉可能な第2の調整弁と、を具備する、ことを特徴とする液処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/16 , B05C 11/08 , B05D 1/40

FI (4件)：

H01L21/30 564C , G03F7/16 502 , B05C11/08 , B05D1/40 A

Fターム (26件)：

2H125CA12 , 2H125EA13P , 4D075AC64 , 4D075AC65 , 4D075BB56Y , 4D075BB92Z , 4D075BB95Z , 4D075CA13 , 4D075CA48 , 4D075CB04 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DC22 , 4D075EA05 , 4D075EA45 , 4D075EB11 , 4D075EB31 , 4D075EB52 , 4F042AA07 , 4F042BA05 , 4F042BA13 , 4F042BA18 , 4F042EB24 , 5F146JA08

引用特許：

出願人引用 (4件)

液処理装置及び液処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-169552 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平3-288569
塗布膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-249299 出願人：東京エレクトロン株式会社

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審査官引用 (4件)

液処理装置及び液処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-169552 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平3-288569
塗布膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-249299 出願人：東京エレクトロン株式会社

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