特許

J-GLOBAL ID：201403068561721172

ワイヤソーで加工物を複数のウェハに切断するための、中断されたプロセスを再開するための方法

発明者： ペーター・ビースナー
出願人/特許権者： ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-246223
公開番号（公開出願番号）：特開2014-104580
出願日： 2013年11月28日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：

【課題】切断プロセスを中断後に再開した場合でもウェハ表面に深い切開が残らないようソーイングワイヤを特別なシーケンスで前進および後退させる、プロセス再開の方法を提供する。【解決手段】ソーイングワイヤにより形成されるワイヤウェブが切断プロセスの中断の位置に達するか、または加工物が切断プロセスの中断の位置に達するまで、ソーイングワイヤを前方に長さL1で、および後方にL1より短い長さで、規定された時間間隔で交互に移動させる。ソーイングワイヤを加工物の存在する切断挽き目に侵入させて停止させた後の加工プロセス再開時は、ワイヤを速度vで長さL3だけ前方に移動する前進運動と、速度v’でL3未満の長さだけ後方に移動する後退運動とを各一回含むワイヤ振動のサイクルを、L3を増大させながら繰り返し、最終的にL3の長さを、切断プロセス中断前の前進運動におけるワイヤ送り長さL1と等しくする。【選択図】図2b

請求項（抜粋）：

ワイヤソーで加工物5を複数のウェハに切断するための、中断されたプロセスを再開するための方法であって、平行に配置された多くのワイヤセクションからなるワイヤウェブ4にわたるソーイングワイヤ3を含み、前記ソーイングワイヤ3は、前進運動で供給スプール1aから解かれ、少なくとも1つの回転可能な偏向プーリ2を越えて前記ワイヤウェブ4に案内され、再び少なくとも1つのさらなる回転可能な偏向プーリ2を介して前記ワイヤウェブ4を出て、巻取スプール1bに巻きつけられ、中断前、前記ソーイングワイヤ3は、規定された時間間隔で、前方に長さL1で、および後方に長さL2で、交互に移動され、 前記中断されたプロセスを再開するために、前記ワイヤウェブ4は、前記ソーイングワイヤ3の液体状の切断用媒体が加えられる状態で、前記ワイヤウェブ4または前記加工物5がワイヤによる切断プロセスの中断の位置に達するまで、前進運動で、前記ソーイングワイヤ3の第1の速度v1で、前記加工物5の存在する切断挽き目に侵入し、前記ソーイングワイヤ3は停止し、前記切断プロセスを再開するとき、前記ワイヤ3は、規定された時間間隔で、速度vで長さL3だけ前方に、および速度v’で長さL4だけ後方に、交互に移動され、L4はL3未満であり、前進運動および後退運動はサイクルZに対応し、各前進運動中、1つおきの前進運動中、または任意の数の前進運動の後、前記前進運動中に解かれる前記ワイヤ長さL3は、前記中断前の前記前進運動の前記ワイヤ長さL1に対応するまで増大される、方法。

IPC (4件)：

B24B 27/06 ,  B24D 11/00 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B24B27/06 S ,  B24B27/06 H ,  B24D11/00 G ,  B28D5/04 C ,  H01L21/304 611W

Fターム (23件)：

3C058AA05 ,  3C058BA04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA04 ,  3C058DA02 ,  3C058DA03 ,  3C058DA17 ,  3C063AA08 ,  3C063AB09 ,  3C063BB02 ,  3C063BB04 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB03 ,  3C069BC03 ,  3C069CA04 ,  3C069EA02 ,  3C069EA04 ,  3C069EA05 ,  5F057AA03 ,  5F057BA01 ,  5F057CA02 ,  5F057DA15