特許

J-GLOBAL ID：201403068728454031

基板処理装置、基板搬出方法

発明者： 鈴木 芳邦
出願人/特許権者： ヤマハ発動機株式会社
代理人 (3件)： 振角 正一 ,  梁瀬 右司 ,  大西 一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-023126
公開番号（公開出願番号）：特開2014-154699
出願日： 2013年02月08日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
要約：

【課題】基板処理装置1から搬出された基板10の収納容器210への収納を行う基板生産ライン100を小型に構成することを可能とする。【解決手段】検査を受けた基板10は、基板検査装置1に設けられたプッシャー43により押し出されつつ装置外部に搬出される。したがって、基板検査装置1の搬出側に収納ラック210を配置しておけば、基板検査装置1から搬出されてきた基板10をプッシャー43で収納ラック210にそのまま押し込むことができ、コンベア31を備えたアンローダーを要さずに基板10を収納ラック210に収納できる。よって、このような基板検査装置1で基板生産ライン100を構成すれば、基板検査装置1から搬出された基板10の収納ラック210への収納を行う基板生産ライン100を小型に構成することが可能となる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板に対して処理を行って装置外部へ搬出する基板処理装置において、 載置された前記基板を基板搬送方向に搬送するコンベアと、 前記コンベアによって基板処理位置まで搬入された前記基板に前記処理を行う処理ヘッドと、 前記処理を受けた前記基板に前記基板搬送方向の上流側から当接するプッシャーを備え、前記プッシャーを前記基板搬送方向の下流側へ移動させる移動動作によって、前記処理を受けた前記基板を押し出して前記コンベアから前記装置外部へ搬出する押出ユニットと を備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H05K 13/02 ,  H05K 13/08 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

H05K13/02 U ,  H05K13/08 D ,  H05K3/00 V

Fターム (5件)：

5E313AA11 ,  5E313CC09 ,  5E313DD01 ,  5E313DD02 ,  5E313DD12