吸着具及びガラス基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-201373
公開番号（公開出願番号）：特開2014-054701
出願日： 2012年09月13日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：

【課題】ガラス基板の吸着によるダメージを抑制できる、吸着具を提供すること。【解決手段】ガラス基板を吸着して運ぶことに用いられる吸着具であって、ガラス基板をファンデルワールス力で吸着可能な吸着部と、前記吸着部を設けた本体部とを備えたことを特徴とする、吸着具。前記本体部は、前記吸着部からガラス基板を剥離させる剥離機構を有する。前記剥離機構は、前記吸着部からガラス基板を剥離させる流体を放出する開口部を有する。前記開口部は、前記吸着部にガラス基板が吸着することで閉塞され、前記空気によって閉塞状態が解消される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ガラス基板を吸着して運ぶことに用いられる吸着具であって、ガラス基板をファンデルワールス力で吸着可能な吸着部と、前記吸着部を設けた本体部とを備えたことを特徴とする、吸着具。

IPC (4件)：

B25B 11/00 , C03C 23/00 , C03C 19/00 , G11B 5/84

FI (5件)：

B25B11/00 Z , C03C23/00 A , C03C19/00 Z , G11B5/84 A , G11B5/84 Z

Fターム (16件)：

3C020WW01 , 4G059AA08 , 4G059AB01 , 4G059AB03 , 4G059AB09 , 4G059AB11 , 4G059AB13 , 4G059AB19 , 4G059AC03 , 4G059AC30 , 5D112AA02 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112BA09 , 5D112GA08 , 5D112GA09

引用特許：

審査官引用 (6件)

ワーク保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-285800 出願人：株式会社クリエイティブテクノロジー
吸着支持具
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-036455 出願人：HOYA株式会社, ホーヤガラスディスクフィリピンインコーポレーテッド
特開平4-146083

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