特許
J-GLOBAL ID：201403069759362980

赤外線検出デバイスを作るための方法

発明者：
ジャン-ジャック・ヨン

ジャン-ジャック・ヨン について

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ジョフロワ・デュモン

ジョフロワ・デュモン について

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ピエール・インペリネッティ

ピエール・インペリネッティ について

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ステファーヌ・ポカ

ステファーヌ・ポカ について


出願人/特許権者：
コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ

コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ について


代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-259984
公開番号（公開出願番号）：特開2014-119461
出願日： 2013年12月17日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：
【課題】本発明の目的は、赤外線検出デバイス、および赤外線検出デバイスを作るための方法を提案することである。【解決手段】電子読み出し回路(12)と、エッチング停止層(32)と、赤外線熱検出器(57、67)と、接続パッド(41)とを少なくとも含み、 赤外線熱検出器(57、67)および接続パッド(41)は、それぞれ、互いに関して実質的に等しい非ゼロの距離だけエッチング停止層(32)から相隔てて並び、第1の導電性ビア(30)および第2の導電性ビア(31)は、最後から2番目のレベルの電気的相互接続部(20)の金属線(21)の第1の部分(21a)および第2の部分(21b)に電気的にそれぞれ接続され、第1の金属間誘電体層(37)内に形成された何もない空間(16)は、第1の導電性ビア(30)を囲み、赤外線熱検出器(57、67)の下に延在する、赤外線検出デバイス(100)を実現する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
赤外線検出デバイス(100、200)であって、 第1の半導体基板(10)上に、および/または第1の半導体基板(10)内に作られた電子読み出し回路(12)であって、第1のレベルの電気的相互接続部が前記電子読み出し回路(12)と最後のレベルの電気的相互接続部との間に配置構成されるように複数のレベルの電気的相互接続部(14)が配置構成された、電子読み出し回路(12)と、 前記最後のレベルの電気的相互接続部と最後から2番目のレベルの電気的相互接続部との間に配置構成されたエッチング停止層(32)であって、前記エッチング停止層(32)と前記最後のレベルの電気的相互接続部との間に配置構成された第1の金属間誘電体層(37)のエッチングに耐えることができるエッチング停止層(32)と、 前記エッチング停止層(32)と交差する前記最後のレベルの電気的相互接続部の少なくとも1つの第1の導電性ビア(30)によって前記電子読み出し回路(12)に電気的に接続された赤外線熱検出器(57、67)と、 前記エッチング停止層(32)と交差し、前記赤外線検出デバイス(100、200)の外側から電気的に接触されうる前記最後のレベルの電気的相互接続部の少なくとも1つの第2の導電性ビア(31)によって前記電子読み出し回路(12)に電気的に接続された、前記最後のレベルの相互接続部によって形成される接続パッド(41)と を少なくとも備え、 前記赤外線熱検出器(57、67)および前記接続パッド(41)は、それぞれ、互いに関して実質的に等しい非ゼロの距離だけ前記エッチング停止層(32)から相隔てられ、前記第1の導電性ビア(30)および前記第2の導電性ビア(31)は、最後から2番目のレベルの電気的相互接続部(20)の金属線(21)の第1の部分(21a)および第2の部分(21b)に電気的にそれぞれ接続され、前記第1の金属間誘電体層(37)内に形成された何もない空間(16)は、前記第1の導電性ビア(30)を囲み、前記赤外線熱検出器(57、67)の下に延在する、赤外線検出デバイス(100、200)。
IPC (2件)：
G01J 1/02 ,  H01L 27/144
FI (2件)：
G01J1/02 C ,  H01L27/14 K
Fターム (13件)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA33 ,  2G065BC03 ,  4M118AB01 ,  4M118AB04 ,  4M118BA06 ,  4M118CA16 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118HA30 ,  4M118HA33
引用特許：
審査官引用 (4件)
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