表示装置または入力装置に用いられる電極、および電極形成用スパッタリングターゲット

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：植木久一 , 植木久彦 , 菅河忠志 , 伊藤浩彰 , 竹岡明美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-271802
公開番号（公開出願番号）：特開2014-120486
出願日： 2012年12月12日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：

【課題】良好な導電性(低い配線抵抗)を有し、高精度な微細加工が容易であり、且つAg合金膜(単層)と同程度の高反射率を有する電極を提供すること。【解決手段】本発明の表示装置または入力装置に用いられる電極は、基板側に形成されたAl合金からなる第1層と、その上方に形成されたAl合金の酸化物または窒化物からなる第2層と、前記第2層の上方に形成されたAg合金からなる第3層を含む積層膜からなり、前記電極の膜厚は100〜800nm、前記第2層の膜厚は1〜10nm、前記第3層の膜厚は70〜480nmであり、且つ前記電極の膜厚に占める前記第3層の膜厚比率は10〜70%である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表示装置または入力装置に用いられる電極であって、前記電極は、基板側に形成されたAl合金からなる第1層と、その上方に形成されたAl合金の酸化物または窒化物からなる第2層と、前記第2層の上方に形成されたAg合金からなる第3層を含む積層膜からなり、前記電極の膜厚は100〜800nm、前記第2層の膜厚は1〜10nm、前記第3層の膜厚は70〜480nmであり、且つ前記電極の膜厚に占める前記第3層の膜厚比率は10〜70%であることを特徴とする電極。

IPC (15件)：

H01L 21/28 , H01L 51/50 , H05B 33/14 , H05B 33/26 , H05B 33/10 , H01L 21/285 , H01L 21/320 , H01L 21/768 , H01L 23/532 , H01L 29/786 , C22C 21/00 , C22C 5/06 , C23C 14/06 , C23C 14/14 , C23C 14/34

FI (14件)：

H01L21/28 301R , H05B33/14 A , H05B33/14 Z , H05B33/26 Z , H05B33/10 , H01L21/285 S , H01L21/88 R , H01L29/78 612C , C22C21/00 A , C22C5/06 C , C23C14/06 N , C23C14/14 B , C23C14/14 D , C23C14/34 A

Fターム (117件)：

3K107AA01 , 3K107AA05 , 3K107BB01 , 3K107BB02 , 3K107CC05 , 3K107CC12 , 3K107CC45 , 3K107DD03 , 3K107DD23 , 3K107DD24 , 3K107DD33 , 3K107DD44X , 3K107DD45X , 3K107DD46X , 3K107EE03 , 3K107FF14 , 3K107FF15 , 3K107GG05 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA04 , 4K029BA22 , 4K029BA23 , 4K029BA44 , 4K029BA58 , 4K029BB02 , 4K029BC03 , 4K029BC07 , 4K029BD02 , 4K029BD09 , 4K029CA05 , 4K029CA06 , 4K029DC04 , 4K029DC08 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 4K029EA01 , 4M104AA01 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB08 , 4M104BB36 , 4M104BB38 , 4M104BB39 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD34 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104DD42 , 4M104DD86 , 4M104FF18 , 4M104GG08 , 4M104GG14 , 4M104HH14 , 4M104HH16 , 4M104HH20 , 5F033GG04 , 5F033HH10 , 5F033HH14 , 5F033HH32 , 5F033HH35 , 5F033JJ01 , 5F033JJ10 , 5F033JJ14 , 5F033JJ32 , 5F033JJ35 , 5F033KK03 , 5F033LL02 , 5F033LL09 , 5F033MM08 , 5F033MM13 , 5F033PP15 , 5F033PP16 , 5F033PP19 , 5F033QQ89 , 5F033QQ90 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW02 , 5F033WW04 , 5F033XX00 , 5F033XX03 , 5F033XX10 , 5F110BB01 , 5F110CC01 , 5F110DD02 , 5F110DD12 , 5F110EE01 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE11 , 5F110EE12 , 5F110EE15 , 5F110EE42 , 5F110EE44 , 5F110GG02 , 5F110HK01 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK17 , 5F110HK18 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HK27 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HL01 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL09 , 5F110HL10 , 5F110HL12 , 5F110HL22 , 5F110HL23 , 5F110NN02 , 5F110NN03

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