特許
J-GLOBAL ID：201403070174277242
荷電粒子顕微鏡における角度ルミネセンスを測定するためのシステムおよび方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
, 本田 淳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-154820
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025936
出願日： 2013年07月25日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：
【課題】走査電子顕微鏡において生じるカソードルミネセンスによって、個々の顕微鏡構造の局所励起に関する利点が得られる。発光構造が特徴づけられるとき、ルミネセンスの強度、波長、偏光および角度放射はすべて対象となる。本発明は放射光の角度分布を決定するための装置を提供し、特に、測定原理に不可欠な回転対称をユーザに提供する。【解決手段】本発明の装置では、ルミネセンスを特徴づけ、試料を理解するために使用される追加の偏光フィルタおよびスペクトルバンドパスフィルタ手法との互換性を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子顕微鏡において試料からのカソードルミネセンスの角度測定用のシステムにおいて、
回転軸を有する回転対称な凹面鏡であって、回転軸と凹面鏡との交差部分に穴を有する、凹面鏡と、
前記穴を通じて前記試料に荷電粒子を向ける荷電粒子源と、
二次元イメージセンサと、を備え、
前記試料は前記鏡と前記センサとの間において前記鏡の焦点に配置され、前記鏡によって前記センサにカソードルミネセンスが向けられる、
システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2G043DA05
, 2G043EA11
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043GA04
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043GB03
, 2G043GB05
, 2G043GB19
, 2G043HA03
, 2G043HA07
, 2G043JA02
, 2G043LA03
, 5C033NN10
, 5C033NP08
