特許
J-GLOBAL ID：201403070236342542

シート貼付装置及び貼付方法

発明者：
木村 浩二

木村 浩二 について

, 
毛受 利彰

毛受 利彰 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-244955
公開番号（公開出願番号）：特開2014-093494
出願日： 2012年11月07日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：
【課題】凹凸のある被着体に貼付した接着シートがその残留応力によって凹凸の境界部から剥がれを発祥し、接着シート不貼部分が拡張してしまうことを防止することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供すること。【解決手段】厚板部WFAと薄板部WFBとが形成されたウエハWFに対し、厚板部WFAの頂面WF1、頂面WF1と薄板部WFBとの間の起立面WF2及び、起立面WF2に連なる底面WF3を被着面WFSとし、当該被着面WFSに接着シートASを貼付するシート貼付装置10であって、頂面WF1に対向させて接着シートASを相対配置するシート支持手段12と、接着シートASに押圧力を付与し、被着面WFSに接着シートASを貼付する押圧手段13と、引張貼付部AS1に生じた残留応力を消失若しくは緩和させる残留応力抑制手段14とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
厚板部と薄板部とが形成された被着体に対し、厚板部の頂面、当該頂面と薄板部との間の起立面及び、当該起立面に連なる薄板部の一面を被着面とし、当該被着面に接着シートを貼付するシート貼付装置において、 前記頂面に対向させて接着シートを相対配置するシート支持手段と、 前記接着シートに押圧力を付与し、前記被着面に接着シートを貼付する押圧手段とを備え、 前記頂面と一面とに渡る接着シート部分または、前記起立面と一面とに渡る接着シート部分に生じた残留応力を消失若しくは緩和させる残留応力抑制手段を更に備えたことを特徴とするシート貼付装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/304 622J ,  H01L21/78 M
Fターム (19件)：
5F057AA12 ,  5F057BA11 ,  5F057DA21 ,  5F057EC17 ,  5F057FA28 ,  5F057FA30 ,  5F131AA02 ,  5F131BA53 ,  5F131CA23 ,  5F131EA07 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EC33 ,  5F131EC34 ,  5F131EC35 ,  5F131EC44 ,  5F131EC54 ,  5F131EC63
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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