感光性接着剤組成物、それを用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-077683
公開番号（公開出願番号）：特開2014-202849
出願日： 2013年04月03日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
要約：

【課題】複数の半導体チップを積層して半導体装置を作製する際に連続圧着が可能であり、薄膜かつ高精細な接着剤パターンを形成することができる感光性接着剤組成物と、それを用いたパターン硬化膜の製造方法、そのパターン硬化膜を有する電子部品の提供。【解決手段】(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)光により酸を生成する化合物と、(C)熱架橋材を含有する感光性接着剤組成物であり、(C)熱架橋材として、下記一般式(1)に示すアルキルエーテル化したアミノ基を有する化合物を(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.1〜2.0質量部を少なくとも含む感光性接着剤組成物。[一般式(1)中、R1〜R6は、それぞれ独立に炭素数1〜10のアルキル基を示す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、 (B)光により酸を生成する化合物と、 (C)熱架橋材を含有する感光性接着剤組成物であり、前記(C)熱架橋材として下記一般式(1)に示すアルキルエーテル化したアミノ基を有する化合物を(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して0.1〜2質量部を少なくとも含有する感光性接着剤組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/004 , G03F 7/023 , G03F 7/40 , C09J 201/06 , C09J 11/06 , C09J 133/00 , C09J 5/00

FI (8件)：

G03F7/004 501 , G03F7/023 , G03F7/40 501 , G03F7/40 521 , C09J201/06 , C09J11/06 , C09J133/00 , C09J5/00

Fターム (46件)：

2H096AA25 , 2H096BA10 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096HA30 , 2H096JA04 , 2H125AE03P , 2H125AE06P , 2H125AE12P , 2H125AE14P , 2H125AF05P , 2H125AM10P , 2H125AM13P , 2H125AM15P , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM32P , 2H125AM80P , 2H125AN57P , 2H125BA05P , 2H125BA22P , 2H125CA12 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC21 , 2H196AA25 , 2H196BA10 , 2H196EA02 , 2H196GA08 , 2H196HA01 , 2H196HA40 , 2H196JA04 , 4J040DB011 , 4J040DB091 , 4J040DF042 , 4J040DF052 , 4J040DF062 , 4J040HC05 , 4J040HC14 , 4J040HC25 , 4J040HD35 , 4J040JA02 , 4J040KA15 , 4J040KA16 , 4J040NA20

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