特許

J-GLOBAL ID：201403070288251618

露光装置、プログラム、及び管理システム

発明者： 青山 肇 ,  尾形 太郎 ,  平山 亨 ,  松山 知行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-256024
公開番号（公開出願番号）：特開2014-103343
出願日： 2012年11月22日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：

【課題】効率良く複数の露光装置を稼動する。【解決手段】露光履歴情報と露光ジョブの内容とに基づいて熱収差を予測し(ステップ202)、その予測に従って、或いはこの結果から予測される結像特性に従って(ステップ214)、さらには露光ジョブの優先度に従って、次の露光ジョブを実行する露光装置を決定するので(ステップ204、216)、十分な重ね合わせ精度を確保して、稼働率を下げることなく効率良く複数の露光装置を稼動することが可能となる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

少なくともマスクパターンと該マスクパターンを照明する照明形状を指定する露光ジョブの内容に従って物体上に前記マスクパターンを転写する露光装置であって、 前記照明形状を用いて照明光を生成する照明系と、 前記マスクパターンが形成されたマスクを介した前記照明光を前記物体に照射する投影光学系と、 前記投影光学系による熱収差を補正する補正装置と、 第1の露光ジョブを実行した時刻、前記第1の露光ジョブによりマスクパターンが転写された物体の数、及び前記第1の露光ジョブによりマスクパターンが転写されたショットの数のいずれかに基づいて露光履歴情報を算出し、該露光履歴情報と前記第1の露光ジョブの後に実行が予定される第2の露光ジョブとに基づいて前記投影光学系による熱収差を予測し、前記熱収差の予測に従って前記第2の露光ジョブを実行すべきか否かを決定する制御部と、を備える露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (4件)：

H01L21/30 516E ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 516Z ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

5F146BA03 ,  5F146CB45 ,  5F146DA12 ,  5F146DA26 ,  5F146DB02