ガラス上に作製された圧電マイクロフォン

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：村山靖彦 , 志賀正武 , 渡邊隆 , 実広信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-528457
公開番号（公開出願番号）：特表2014-531794
出願日： 2012年08月22日
公開日（公表日）： 2014年11月27日
要約：

本開示は、ガラスカプセル化マイクロフォンのためのシステム、方法、および装置を提供する。一態様では、ガラスカプセル化マイクロフォンは、ガラス基板と、電気機械マイクロフォンデバイスと、集積回路デバイスと、カバーガラスとを含み得る。カバーガラスは、エポキシ、または金属ボンドリングなどの接着剤を用いてガラス基板に結合され得る。カバーガラスは、いくつかの構成のいずれかを有し得る。いくつかの構成では、カバーガラスは、ガラスカプセル化マイクロフォンの縁部で電気機械マイクロフォンデバイスのための開口を画定し得る。いくつかの構成では、カバーガラスは、電気機械マイクロフォンデバイスを収容するキャビティから分離している、集積回路デバイスを収容するためのキャビティを画定し得る。

請求項（抜粋）：

音を検出するための装置であって、ガラス基板と、前記ガラス基板の表面上に配設された電気機械マイクロフォンデバイスと、前記ガラス基板の前記表面上に配設された集積回路デバイスであって、前記電気機械マイクロフォンデバイスからの出力を感知するように構成された集積回路デバイスと、前記ガラス基板の前記表面に結合されたカバーガラスと、を備え、前記カバーガラスは、前記カバーガラスが前記ガラス基板の前記表面に結合されるときに第1のキャビティを画定する第1の凹部を含み、前記第1のキャビティは、前記電気機械マイクロフォンデバイスを収容するように構成され、前記第1の凹部の一部分は、前記カバーガラスの縁部にあり、前記カバーガラスおよび前記ガラス基板が互いに結合されるとき、前記カバーガラスの前記縁部に開口を画定するようにし、前記開口は、音波が前記電気機械マイクロフォンデバイスと相互作用することを可能にするように構成される、装置。

IPC (6件)：

H04R 17/02 , G02B 26/02 , B81B 7/02 , B81C 3/00 , H04R 19/04 , H04R 31/00

FI (7件)：

H04R17/02 , G02B26/02 E , B81B7/02 , B81C3/00 , H04R19/04 , H04R31/00 C , H04R31/00 Z

Fターム (41件)：

2H141MA04 , 2H141MA05 , 2H141MB23 , 2H141MB28 , 2H141MB52 , 2H141MB63 , 2H141MC06 , 2H141MD02 , 2H141MD04 , 2H141MD31 , 2H141MD38 , 2H141MG03 , 2H141MZ03 , 2H141MZ16 , 2H141MZ20 , 2H141MZ27 , 2H141MZ28 , 3C081BA22 , 3C081BA28 , 3C081BA30 , 3C081BA43 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081BA72 , 3C081CA03 , 3C081CA14 , 3C081CA28 , 3C081CA29 , 3C081CA31 , 3C081CA32 , 3C081DA06 , 3C081DA22 , 3C081EA08 , 3C081EA21 , 5D004AA09 , 5D004BB04 , 5D004DD03 , 5D004GG00 , 5D021CC20

引用特許：

審査官引用 (5件)

特許第6249586号
MEMSマイクロフォンを備えた電気モジュール
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-556514 出願人：エプコスアクチエンゲゼルシャフト
MEMSマイクロフォンを有する素子、及び前記素子の製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-529532 出願人：エプコスアクチエンゲゼルシャフト

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