特許
J-GLOBAL ID：201403071542149132
三次元集積回路
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 荒木 淳
, 石川 雅章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116245
公開番号（公開出願番号）：特開2013-058732
特許番号：特許第5624081号
出願日： 2012年05月22日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1導電パターンを含む第1ウェハと、
第2導電パターンを含み、前記第1導電パターンに電気接続された第2ウェハと
を含み、
前記第1ウェハと前記第2ウェハの間の変位が、前記第1導電パターンと前記第2導電パターンの抵抗に基づいて決定され、
前記第1導電パターンが、
前記第2導電パターンに電気接続されうる第1中央導電パターンと、
前記第1中央導電パターンを取り囲むように前記第1中央導電パターンの上下左右に配置されると共に、少なくとも1つが前記第2導電パターンに電気接続されうる複数の方向導電パターンと
を含み、
異なる方向の前記第1ウェハと前記第2ウェハの変位が、前記第1中央導電パターン、前記対応する方向導電パターンおよび前記第2導電パターンの抵抗に基づいて決定され、
前記各方向導電パターンが、
金属パッドと、
ドープ領域と、
前記ドープ領域を介して前記金属パッドに電気接続された複数の金属線と
を含み、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンの前記抵抗が、少なくとも、前記第2導電パターンによって短絡した前記金属線の数および前記短絡した金属線の線間抵抗に基づいて決定される三次元集積回路。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, H01L 27/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/822 ( 200 6.01)
H01L 21/66 E
, H01L 27/04 T
出願人引用 (7件)
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電子デバイス及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2008-255219
出願人：パナソニック株式会社
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特許第6459151号
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特許第7514276号
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審査官引用 (7件)
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