特許
J-GLOBAL ID:201403071586984250

アクチュエータ及びそれを用いた位置決め装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-159287
公開番号(公開出願番号):特開2014-023266
出願日: 2012年07月18日
公開日(公表日): 2014年02月03日
要約:
【課題】電歪素子が屈曲する力を他の方向へ効率的且つ安定的に変換することが可能なアクチュエータ及びそれを用いた位置決め装置を提供する。【解決手段】平板状の電歪素子11の上面に2つの電極12a、12cを互いに離間させて配置し、それらと電歪素子11を挟んで対向するように電歪素子11の下面に2つの電極12b、12dを互いに離間させて配置し、更に、電歪素子11の上面に配置された電極12aと電極12cとの間に可動子13を配置する。電極12a、12cが正極(+)、電極12a、12cが負極(-)となるように電圧を印加すると、電歪素子11は、隣り合う電極間において波状に変形し、それに伴って電歪素子11上の可動子13が一定方向へ傾動する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
電歪素子と、 当該電歪素子に電圧を印加するための電極と、 前記電歪素子の表面に配置された可動子とを備え、 前記電歪素子に前記電極を介して電圧が印加されることで前記電歪素子が波状に変形し、当該変形に伴う前記電歪素子表面の傾斜により前記可動子が傾動するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (4件):
H02N 2/00 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/193 ,  H01L 41/09
FI (4件):
H02N2/00 B ,  H01L41/08 H ,  H01L41/18 102 ,  H01L41/08 C

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