特許

J-GLOBAL ID：201403071664300184

蒸着マスク用材料の製造方法、蒸着マスクの製造方法

発明者： 小幡 勝也 ,  権守 英輔 ,  武田 利彦
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (3件)： 特許業務法人 インテクト国際特許事務所 ,  石川 泰男 ,  石橋 良規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-210179
公開番号（公開出願番号）：特開2014-067500
出願日： 2012年09月24日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
要約：

【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクを製造するために用いる蒸着マスク用材料の製造方法を提供すること。【解決手段】金属板の一方の面に熱硬化性樹脂を塗布する工程と、前記金属板の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層を形成する工程と、前記金属板の他方の面側からエッチング加工し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程と、前記金属マスクおよびその一方の面に位置する熱硬化樹脂層を加熱することで、金属マスク表面に酸化皮膜を形成する工程と、とにより、スリットが設けられた金属マスクと前記金属マスクの表面に位置する熱硬化樹脂層とが積層されてなる蒸着マスク用材料を製造する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの一方の面に位置する熱硬化樹脂層と、が積層されてなる蒸着マスク用材料の製造方法であって、 金属板の一方の面に熱硬化性樹脂を塗布する工程と、 前記金属板の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層を形成する工程と、 前記金属板の他方の面側からエッチング加工し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程と、 前記金属マスクおよびその一方の面に位置する熱硬化樹脂層を加熱することで、金属マスク表面に酸化皮膜を形成する工程と、 を有することを特徴とする蒸着マスク用材料の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  C23C 14/04

FI (3件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  C23C14/04 A

Fターム (9件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC35 ,  3K107CC42 ,  3K107GG04 ,  3K107GG33 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03