特許
J-GLOBAL ID：201403071906943662

結像光学ユニット

発明者：
ヴォルフ アレクサンダー

ヴォルフ アレクサンダー について


出願人/特許権者：
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー について


代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  岸 慶憲
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-513130
公開番号（公開出願番号）：特表2014-517349
出願日： 2012年05月24日
公開日（公表日）： 2014年07月17日
要約：
結像光学ユニット(50)は、物体視野(4)を像視野(8)に結像するように機能する。物体視野(4)と像視野(8)の間の結像ビーム経路(AS)は、複数の部分結像ビーム経路(TAS)に再分割される。結像光学ユニット(50)は、部分結像ビーム経路(TAS)が、互いから完全に分離される方式、及び結像光学ユニット(50)の光学構成要素(M1からM6)によって誘導される方式で物体視野(4)と像視野(8)の間で延びるように、すなわち、物体視野(4)と像視野(8)の間のビーム経路内のいかなる場所においても、部分結像ビーム経路(TAS)が結像光学ユニット(50)のビーム誘導面(20)の同一領域上に当たらないように具現化される。これは、特に、微細又はナノ構造半導体構成要素の生成において分解能性能が改善した結像光学ユニットをもたらす。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
物体視野(4)を像視野(8)に結像するための結像光学ユニット(7;17;28;50;53;56;59)であって、 前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間の結像ビーム経路(27;AS)が、複数の部分結像ビーム経路(22,23;TAS)に再分割され、 結像光学ユニット(7;17;28;50;53;56;59)は、前記部分結像ビーム経路(22,23;TAS)が、互いから完全に分離される方式、及び結像光学ユニット(7;17;28;50;53;56;59)の光学構成要素(18,19;M1からM6;GI,M1からM6)によって誘導される方式で前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間で延びるように、すなわち、該物体視野(4)と該像視野(8)の間の前記ビーム経路内のいかなる場所においても、該部分結像ビーム経路(22,23,TAS)が、結像光学ユニット(7;17;28;50;53;56;59)のビーム誘導面(20)の同一領域上に当たらないように具現化される、 ことを特徴とする結像光学ユニット。
IPC (3件)：
G02B 17/00 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
G02B17/00 Z ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521
Fターム (17件)：
2H087KA21 ,  2H087LA27 ,  2H087NA04 ,  2H087RA45 ,  2H087RA46 ,  2H087TA02 ,  5F146AA25 ,  5F146BA03 ,  5F146CB02 ,  5F146CB45 ,  5F146DA12 ,  5F146GA03 ,  5F146GA21 ,  5F146GA27 ,  5F146GA28 ,  5F146GB11 ,  5F146GD22
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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