特許

J-GLOBAL ID：201403072005582080

サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ

発明者： 藤田 利晃 ,  田中 寛 ,  長友 憲昭
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-279147
公開番号（公開出願番号）：特開2014-123647
出願日： 2012年12月21日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：

【課題】 フィルム等に非焼成で直接成膜することでき、高い耐熱性を有して信頼性が高いサーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサを提供すること。【解決手段】 サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、一般式:CrxAly(N1-wOw)z(0.70≦y/(x+y)≦0.95、0.45≦z≦0.55、0<w≦0.35、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、 一般式:CrxAly(N1-wOw)z(0.70≦y/(x+y)≦0.95、0.45≦z≦0.55、0<w≦0.35、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、 その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であることを特徴とするサーミスタ用金属窒化物材料。

IPC (1件)：

H01C 7/04

FI (1件)：

H01C7/04

Fターム (6件)：

5E034BA09 ,  5E034BB08 ,  5E034BC20 ,  5E034DA07 ,  5E034DE16 ,  5E034DE20