特許
J-GLOBAL ID：201403072060119917

インプリント方法およびインプリント装置、それを用いた物品の製造方法

発明者：
千葉 啓子

千葉 啓子 について

, 
羽生 由紀夫

羽生 由紀夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-128158
公開番号（公開出願番号）：特開2013-254783
出願日： 2012年06月05日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：
【課題】樹脂パターンが意図しない形状に形成されることを抑え、かつ生産性を向上させる点で有利なインプリント方法を提供する。【解決手段】このインプリント方法は、基板上の樹脂を型により成形し、光の照射により硬化させて、基板上にパターンを形成するに際し、ブタン系ガスを含む雰囲気中で、型と樹脂とを接触させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上の樹脂を型により成形し、光の照射により硬化させて、前記基板上にパターンを形成するインプリント方法であって、 ブタン系ガスを含む雰囲気中で、前記型と前記樹脂とを接触させることを特徴とするインプリント方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02
FI (2件)：
H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z
Fターム (19件)：
4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209AM26 ,  4F209AM32 ,  4F209AR02 ,  4F209AR06 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA31 ,  5F146DA07 ,  5F146DA27
引用特許：
出願人引用 (3件)

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