特許
J-GLOBAL ID：201403072478517099
制御素子およびそれを用いた荷電粒子線装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-141627
公開番号（公開出願番号）：特開2014-007045
出願日： 2012年06月25日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：
【課題】対象物に対する荷電粒子線の照射精度を高める要求に応える制御素子およびそれを用いた荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】一形態における制御素子6a〜6cは、荷電粒子線が通過する貫通孔Pが形成されたセラミックスからなる筒体7と、筒体7の貫通孔Pにおける内周面S1に接着した電極8とを備え、電極8は、筒体7の内周面S1に接着したパラジウム膜と、パラジウム膜を介して筒体7の内周面S1に接着したロジウム膜とを有する。筒体7と電極8との接着強度を高めることができ、電極8による荷電粒子線の制御を安定にすることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を制御する制御素子において、
前記荷電粒子線が通過する貫通孔が形成されたセラミックスからなる筒体と、該筒体の前記貫通孔における内周面に接着した電極とを備え、
該電極は、前記筒体の前記内周面に接着したパラジウム膜と、該パラジウム膜を介して前記筒体の内周面に接着したロジウム膜とを有することを特徴とする制御素子。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01J37/147 C
, H01J37/147 B
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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