特許

J-GLOBAL ID：201403072568392058

吸着反転装置

発明者： 亀井 慎太郎
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-001467
公開番号（公開出願番号）：特開2014-133672
出願日： 2013年01月09日
公開日（公表日）： 2014年07月24日
要約：

【課題】 吸着板を定められた停止位置で確実に停止させて安定保持することのできる機能を備えた吸着反転装置を提供する。【解決手段】 基板Wを吸着して反転させる吸着反転装置であって、左右の側枠14に支持された回転軸15と、回転軸15に保持されて該回転軸15と共に回転する吸着板18とを備え、側枠14は、フレーム1に設けられたレール23に沿って水平方向に移動できるように形成され、フレーム1には吸着板18の位置を感知する位置感知部材29と出没可能な位置決めピン28とが設けられ、側枠14に連なる部分には位置決めピン28が係入する係合穴27が設けられており、位置感知部材29が吸着板18の位置を感知すると、位置決めピン28が動作して係合穴27に係入するように構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を吸着し反転させる吸着反転装置であって、 左右の側枠に支持された回転軸と、 前記回転軸に保持されて該回転軸と共に回転する吸着板とを備え、 前記側枠は、フレームに設けられたレールに沿って水平方向に移動できるように形成され、 前記フレームには吸着板の位置を感知する位置感知部材と出没可能な位置決めピンとが設けられ、前記側枠に連なる部分には前記位置決めピンが係入する係合穴が設けられており、 前記位置感知部材が吸着板の位置を感知すると、前記位置決めピンが動作して前記係合穴に係入するように形成されている吸着反転装置。

IPC (3件)：

C03B 33/03 ,  B28D 7/00 ,  H01L 21/677

FI (3件)：

C03B33/03 ,  B28D7/00 ,  H01L21/68 A

Fターム (26件)：

3C069AA02 ,  3C069CA03 ,  3C069CA05 ,  3C069CA11 ,  3C069CB03 ,  4G015FA01 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02 ,  4G015FC11 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA22 ,  5F131BA52 ,  5F131CA18 ,  5F131DA02 ,  5F131DA42 ,  5F131DA63 ,  5F131DB88 ,  5F131DB93 ,  5F131EA05 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EB01 ,  5F131FA14 ,  5F131KA12 ,  5F131KB32