特許
J-GLOBAL ID:201403072601185136
面発光レーザチップおよび面発光レーザチップのレイアウト方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
山崎 宏
, 田中 光雄
, 仲倉 幸典
, 磯江 悦子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-160600
公開番号(公開出願番号):特開2014-022597
出願日: 2012年07月19日
公開日(公表日): 2014年02月03日
要約:
【課題】エピタキシャルウエハ上の乗り数を増加させて生産性を向上させる。【解決手段】面発光レーザチップ1を、三角柱状の形状を有すると共に、少なくとも下部クラッド層,量子井戸活性層および上部クラッド層が順にエピタキシャル成長されて構成された共振器を有する本体部6と、正電極パッド4および負電極パッド5と、本体部6の上面2に形成されたレーザ光を取り出すための開口部3とを含んで構成する。そして、正電極パッド4を本体部6の上面2に形成している。こうして、面発光レーザチップ1を、上面2および底面7の形状を頂点数が最小の多角形である三角形にすることによって、エピタキシャルウエハから切り出す一つ当たりの面発光レーザチップ1の表面積を効率良く小さくし、一枚のエピタキシャルウエハから切り出せる面発光レーザの数である乗り数を増加させて、生産性を向上させることができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
三角柱状の形状を有すると共に、上記三角柱の一端面と他端面との間に、上記他端面側から少なくとも下部クラッド層,量子井戸活性層および上部クラッド層が順にエピタキシャル成長されて構成された共振器を有する本体部と、
上記本体部における上記量子井戸活性層に電流を供給するための正電極パッドおよび負電極パッドと、
上記本体部における三角形を成す上記一端面に設けられると共に、上記量子井戸活性層からのレーザ光を外部に取り出すための開口部と
を備え、
上記正電極パッドと上記負電極パッドとのうちの少なくとも何れか一方は、上記本体部における上記一端面に形成されており、
上記開口部は、上記一端面に形成された電極パッドに形成されている
ことを特徴とする面発光レーザチップ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
5F173AC03
, 5F173AC13
, 5F173AK21
, 5F173AR94
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