特許
J-GLOBAL ID:201403072742046369
エレクトレット素子およびそれを用いた振動発電器
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (5件):
鮫島 睦
, 田村 恭生
, 言上 惠一
, 山尾 憲人
, 玄番 佐奈恵
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-257364
公開番号(公開出願番号):特開2014-107890
出願日: 2012年11月26日
公開日(公表日): 2014年06月09日
要約:
【課題】エレクトレット素子の電荷保持安定性を向上させる。【解決手段】基板101と、導電性電極103と、第1の誘電体層104および第2の誘電体層105を含むエレクトレット層107を有する、エレクトレット素子100において、エレクトレット層107に着電する電荷が負の電荷である場合には、第2の誘電体層105の伝導帯の底Ecが、第1の誘電体層104の伝導帯の底Ecよりも低く、電荷が正の電荷である場合には、第2の誘電体層105の価電子帯の頂上Evが、第1の誘電体層104の価電子帯の頂上Evよりも高く、第1の誘電体層104の導電性電極と接する面と反対側の面に凹部106が形成され、凹部の底面106aおよび側壁106bの少なくとも一部を被覆するように、第2の誘電体層105が形成されることによって、電荷保持安定性が向上し、特に基板の周囲への電荷流出を防止されたエレクトレット素子が得られる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板、導電性電極、ならびに第1の誘電体層および第2の誘電体層を含むエレクトレット層を有し、前記エレクトレット層に電荷が保持可能な、エレクトレット素子であって、
前記導電性電極が、前記基板の表面に形成されており、
前記第1の誘電体層が、前記導電性電極の表面に形成され、かつ前記導電性電極の側とは反対の側の表面に底面、側壁および頂面を有する凹部を少なくとも1つ有し、
前記第2の誘電体層が、前記底面全体、および前記側壁の少なくとも一部を覆っており、
前記第2の誘電体層の伝導帯の底Ecが、前記第1の誘電体層の伝導帯の底Ecよりも低い、または、前記第2の誘電体層の価電子帯の頂上Evが、前記第1の誘電体層の価電子帯の頂上Evよりも高い、
エレクトレット素子。
IPC (1件):
FI (1件):
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