コージェライト質焼結体およびこのコージェライト質焼結体からなる半導体製造装置用部材

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出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012054243
公開番号（公開出願番号）：WO2012-115136
出願日： 2012年02月22日
公開日（公表日）： 2012年08月30日
要約：

【課題】熱膨張係数が小さく、かつ比剛性(=ヤング率/比重)および機械的強度の高いコージェライト質焼結体およびこのコージェライト質焼結体からなる半導体製造装置用部材を提供する。【解決手段】主結晶相がコージェライトであり、副結晶相として、アルミナ、ムライトおよびサフィリンを含み、粒界にCaを含む非晶質相が存在してなり、前記主結晶相の結晶相比率が95質量%以上97.5質量%以下であり、前記副結晶相の結晶相比率が2.5質量%以上5質量%以下であり、全量中に対するCaの含有量がCaO換算で0.4質量%以上0.6質量%以下であるコージェライト質焼結体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

主結晶相がコージェライトであり、副結晶相として、アルミナ、ムライトおよびサフィリンを含み、粒界にCaを含む非晶質相が存在してなり、前記主結晶相の結晶相比率が95質量%以上97.5質量%以下であり、前記副結晶相の結晶相比率が2.5質量%以上5質量%以下であり、全量中に対するCaの含有量がCaO換算で0.4質量%以上0.6質量%以下であることを特徴とするコージェライト質焼結体。

IPC (1件)：

C04B 35/195

FI (1件)：

C04B35/16 A

Fターム (23件)：

4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA17 , 4G030AA22 , 4G030AA25 , 4G030AA27 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030BA18 , 4G030BA20 , 4G030BA24 , 4G030CA01 , 4G030GA04 , 4G030GA05 , 4G030GA11 , 4G030GA12 , 4G030GA22 , 4G030GA24 , 4G030GA25 , 4G030GA27 , 4G030GA28 , 4G030GA29 , 4G030HA04

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