特許
J-GLOBAL ID：201403072910271810
蛍光エキシマランプおよび流体処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-056242
公開番号（公開出願番号）：特開2014-182916
出願日： 2013年03月19日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
要約：
【課題】高い効率で紫外光が放射され、蛍光体の劣化が抑制される蛍光エキシマランプおよび流体処理装置を提供すること。【解決手段】発光ガスが封入された誘電体からなる放電管、および、前記発光ガスと前記放電管を形成する誘電体とを介して対向配置された一対の電極を備えてなる真空紫外光源と、内面に蛍光体層が形成され、前記真空紫外光源の外周に間隙を介して配置された、当該真空紫外光源を収容する外側管とを有する蛍光エキシマランプにおいて、前記外側管の両端が気密に封止され、当該外側管内の前記間隙に不活性ガスが封入されていることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
発光ガスが封入された誘電体からなる放電管、および、前記発光ガスと前記放電管を形成する誘電体とを介して対向配置された一対の電極を備えてなる真空紫外光源と、
内面に蛍光体層が形成され、前記真空紫外光源の外周に間隙を介して配置された、当該真空紫外光源を収容する外側管とを有する蛍光エキシマランプにおいて、
前記外側管の両端が気密に封止され、当該外側管内の前記間隙に不活性ガスが封入されていることを特徴とする蛍光エキシマランプ。
IPC (3件)：
H01J 65/00
, H01J 61/34
, H01J 61/42
H01J65/00 D
, H01J61/34 F
, H01J61/42 Z
5C043AA07
, 5C043BB01
, 5C043CC16
, 5C043CD01
, 5C043CD05
, 5C043DD02
, 5C043DD28
, 5C043EB04
