特許

J-GLOBAL ID：201403073060598455

蒸着材料の製造方法、蒸着材料の製造装置、電子線照射蒸着方法および電子線照射蒸着用蒸着材料

発明者： 須藤 業 ,  香取 健二 ,  本村 勇人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-253869
公開番号（公開出願番号）：特開2014-101545
出願日： 2012年11月20日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：

【課題】EB蒸着を行うための蒸着材料が簡単かつ安価に得られるようにする。【解決手段】少なくとも1種類の粉体を液体に浸漬させた後、液体を蒸発させることで固化した粉体を、電子線照射蒸着用の蒸着材料とする。液体が蒸発して粉体が固化する際には、表面張力によって粒子間に発生する毛管吸引力が発生し、粉体が均一な状態で良好に固化する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1種類の粉体を液体に浸漬させた後、 前記液体を蒸発させることで固化した前記粉体を、電子線照射蒸着用の蒸着材料とする 蒸着材料の製造方法。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 E

Fターム (5件)：

4K029BA46 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB07 ,  4K029DB21