特許
J-GLOBAL ID:201403073740336900
画像取得装置及び画像取得装置のフォーカス方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 石田 悟
, 中山 浩光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-240494
公開番号(公開出願番号):特開2014-089411
出願日: 2012年10月31日
公開日(公表日): 2014年05月15日
要約:
【課題】プレフォーカスの簡易化により、撮像に要する処理時間の増大を抑制できる画像取得装置及びそのフォーカス方法を提供する。【解決手段】画像取得装置では、分割領域40を走査する際に焦点位置の制御結果を記憶し、第(n+1)番目の分割領域40を走査する際の初期焦点位置を、第n番目(nは1以上の整数)以前の分割領域を走査する際に記憶した制御結果に基づいて決定する。このような手法により、この画像取得装置では、すでに走査を完了した分割領域40の制御結果を利用して次に走査する分割領域40での初期焦点位置を大まかに求めることが可能となる。これにより、プレフォーカスの簡易化により、撮像に要する処理時間の増大を抑制できる。【選択図】図13
請求項(抜粋):
試料が載置されるステージと、
前記試料に向けて光を照射する光源と、
前記試料の光像を画像取得用の第1の光路及び焦点制御用の第2の光路に分岐する光分岐手段を含む導光光学系と、
前記第1の光路に分岐された第1の光像による第1の画像を取得する第1の撮像手段と、
前記第2の光路に分岐された第2の光像による第2の画像を取得する第2の撮像手段と、
前記第1の撮像手段及び前記第2の撮像手段による前記試料の撮像位置を予め定められた複数の分割領域に沿って走査する走査制御手段と、
前記第2の画像を解析し、その解析結果に基づいて前記第1の撮像手段による撮像の焦点位置を制御する焦点制御手段と、を備え、
前記焦点制御手段は、前記走査制御手段が前記分割領域を走査する際に前記焦点位置の制御結果を記憶し、前記走査制御手段が第(n+1)番目の分割領域を走査する際の初期焦点位置を、前記走査制御手段が第n番目(nは1以上の整数)以前の分割領域を走査する際に記憶した前記制御結果に基づいて決定することを特徴とする画像取得装置。
IPC (3件):
G02B 21/18
, G02B 7/36
, G02B 7/28
FI (3件):
G02B21/18
, G02B7/11 D
, G02B7/11 J
Fターム (11件):
2H052AB01
, 2H052AB24
, 2H052AC05
, 2H052AD09
, 2H052AD18
, 2H052AF14
, 2H052AF25
, 2H151AA11
, 2H151BA47
, 2H151CB02
, 2H151CB29
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