特許

J-GLOBAL ID：201403074037713090

検査装置

発明者： 田川 裕太 ,  鈴木 克弥 ,  高橋 和夫
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-052607
公開番号（公開出願番号）：特開2014-178215
出願日： 2013年03月15日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
要約：

【課題】 欠陥には、異物に例示される突起欠陥と傷に例示される凹み欠陥とが含まれる。特許文献1ではいわゆる検光検出を行うが、突起欠陥を高感度に検出するよう検光角を調整した場合、必ずしも凹み欠陥も高感度に検出できるわけではないことを本発明は見出した。従来技術ではこの点に関する配慮が十分ではない。【解決手段】 試料に対して斜方からP偏光を供給する照明光学系と、前記試料からの光を検出する検出光学系と、を有し、前記検出光学系は突起欠陥を高感度に検出する光学系と、凹み欠陥を検出する光学系を有することを特徴とする。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

試料に対して斜方からP偏光を供給する照明光学系と、 前記試料からの光を検出する検出光学系と、 処理部と、を有し、 前記検出光学系は前記試料からの光を集光する集光レンズと、前記集光レンズを通過した光を通過させるための回転可能な波長板と、前記波長板を通過した光を分岐するための偏光ビームスプリッタと、前記偏光ビームスプリッタを透過した光を検出する第1の検出器と、前記偏光ビームスプリッタを反射した光を検出する第2の検出器と、を有し、 前記処理部は、前記第1の検出器からの第1の信号に対して欠陥判定を行い、第1の欠陥を検出した場合は、前記第1の欠陥を突起欠陥と判断し、前記第2の検出器からの第2の信号に対して欠陥判定を行い、第2の欠陥を検出した場合は、前記第2の欠陥を凹み欠陥であると判断する検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (20件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BC07 ,  2G051CA01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC20 ,  2G051DA01 ,  2G051EB01 ,  2G051EB10 ,  2G051GD05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA06 ,  4M106DB01 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20