特許
J-GLOBAL ID：201403074412774760
内部欠陥検査装置及び内部欠陥の検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
近藤 充和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-097211
公開番号（公開出願番号）：特開2014-219238
出願日： 2013年05月04日
公開日（公表日）： 2014年11月20日
要約：
【課題】被測定物の内部の層状の欠陥を短時間に簡易に、かつ高精度に検出することができる検査装置および検査方法を提供すること。【解決手段】被測定物10に照射されるマイクロ波8を出力する送信アンテナ1と、送信アンテナ1と空間的に分離され、被測定物10からの反射波を受信する受信アンテナ2とを有し、被測定物10の内部の層状の欠陥11を検出する検査装置であって、マイクロ波8の偏波方向8pは水平面に垂直となるように設定され、受信アンテナ2は、その感度が最大となる偏波方向が被測定物10の内部に層状の欠陥がないときに受信される被測定物10からの反射波による信号強度が最小となるように設定されている。マイクロ波8の波源の生成および反射波からの検出信号の生成は回路部3で行われる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定物の内部の層状の欠陥を検出する検査装置であって、前記被測定物に照射されるマイクロ波を出力する送信アンテナと、該送信アンテナと空間的に分離され、前記マイクロ波の前記被測定物からの反射波を受信する受信アンテナとを有し、前記送信アンテナから出力されるマイクロ波の強度が最大となる偏波方向と前記受信アンテナの感度が最大となる偏波方向が異なることを特徴とする内部欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (6件)：
G01N22/02 A
, G01N22/02 B
, G01N22/00 S
, G01N22/00 R
, G01N22/00 X
, G01N22/00 W
