検査装置及び検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , ▲高▼木邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-092784
公開番号（公開出願番号）：特開2014-215177
出願日： 2013年04月25日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
要約：

【課題】より高い精度で異種品や不良品の検出を行う。【解決手段】検査装置100及びこの検査装置100を用いた検査方法によれば、分析ユニット30において、まず、検出ユニット20において取得された各画素のスペクトルデータから、検査対象物を撮像した対象画素を抽出し、さらに、同一の検査対象物を撮像した複数の対象画素のスペクトルデータを予めグループ化して、グループ化した対象物スペクトルを用いて検査対象物の分類が行われる。したがって、同一の検査対象物を撮像した複数の対象画素のスペクトルデータを用いて検査対象物の分類を行うことから、特定の画素に含まれるノイズ等に由来する誤判定の可能性を低減することができ、より高い精度で異種品や不良品の検出を行うことが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

近赤外光を撮像領域に対して出射する光源と、前記光源からの前記近赤外光を照射されることで前記撮像領域から出射される光を入射して分光する分光手段と、前記分光手段によって分光された光の分光画像を撮像し、画素毎のスペクトルデータを出力する撮像手段と、前記撮像手段によって出力された前記画素毎のスペクトルデータに基づいて解析対象となる画素である対象画素を抽出する画素抽出手段と、前記画素抽出手段によって抽出された前記対象画素を近接する複数の画素毎にグループ化し、グループ化された対象画素のスペクトルデータに基づいて検査対象物のスペクトルを算出するスペクトル算出手段と、前記スペクトル算出手段によって算出されたスペクトルに基づいて、検査対象物を分類する分類手段と、を備えることを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/85 , G01N 21/359 , G01N 21/27

FI (3件)：

G01N21/85 A , G01N21/35 107 , G01N21/27 A

Fターム (26件)：

2G051AA02 , 2G051AA03 , 2G051BA06 , 2G051BB01 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051CC09 , 2G051DA06 , 2G051DA11 , 2G051EA17 , 2G051EA25 , 2G051ED11 , 2G059AA01 , 2G059BB08 , 2G059DD12 , 2G059EE02 , 2G059FF01 , 2G059GG10 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059KK04 , 2G059MM01

引用特許：

審査官引用 (1件)

検出装置及び検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-246599 出願人：住友電気工業株式会社

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