特許

J-GLOBAL ID：201403074848261148

走査電子顕微鏡用試料ホルダ、走査電子顕微鏡像の観察システム、および走査電子顕微鏡像の観察方法

発明者： 小椋 俊彦
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (6件)： 大野 聖二 ,  片山 健一 ,  鈴木 守 ,  加藤 真司 ,  津田 理 ,  大谷 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-080490
公開番号（公開出願番号）：特開2014-203733
出願日： 2013年04月08日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
要約：

【課題】走査電子顕微鏡を用いて生物試料を生きたままの状態で高分解能・高コントラストで観察することを可能とする技術を提供すること。【解決手段】導電性薄膜201の下に設けられた第1の絶縁性薄膜203側には、観察試料10が溶解等された水溶液20が挟み込まれている。電子線入射部位がマイナスに帯電すると、水分子の電気双極子が電位勾配に添って配列し、第2の絶縁性薄膜204の面にも電荷が生じる。この電荷は端子部210により検出されて測定信号となる。電子線102が遮蔽された状態では、上述のマイナス電位は消失する。これにより第1の絶縁性薄膜203表面の電荷も消失し、端子部210から出力される測定信号も0となる。このような電子線のON/OFFを1kHz以上の周波数で繰り返すことにより、端子部210からこれと同様の周波数成分の信号を抽出することができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

一方主面が観察試料の保持面である第1の絶縁性薄膜と該第1の絶縁性薄膜の他方主面に積層された導電性薄膜とを備え、 前記第1の絶縁性薄膜の一方主面側には、前記導電性薄膜側から入射された電子線に起因して生じた前記第1の絶縁性薄膜の一方主面の電位に基づく信号を検出する端子部が設けられている、走査電子顕微鏡用試料ホルダ。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/244

FI (3件)：

H01J37/20 A ,  H01J37/28 B ,  H01J37/244

Fターム (8件)：

5C001AA01 ,  5C001BB03 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU10