特許
J-GLOBAL ID：201403075190090570
薄膜状元素の識別方法
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
小林 浩
, 藤田 尚
, 鈴木 康仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-145539
公開番号（公開出願番号）：特開2014-197031
出願日： 2014年07月16日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
要約：
【課題】薄膜状元素の種類と厚さに対して、輝度コントラストが最大となり且つ再現性よく計測することができるSEM反射電子計測の観測条件を決定する方法および、SEM反射電子計測により識別することが可能な元素種類組み合わせを予測する方法を用いて異種元素が付加された微粒子セットを識別する観察方法を提供すること。【解決手段】本発明は、支持体表面の異なる領域を3種類以上の元素で薄膜状に被覆してなる微粒子標識であって、各元素の全反射係数ηの値に基づいて昇順または降順で並べたときに隣接する元素間での全反射係数ηの差が、0.02以上となるような3種類以上の元素の組合せを用いて、前記支持体表面の異なる領域が薄膜状に被覆されている、微粒子標識を提供する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡(SEM)を用いた反射電子計測により異なる元素薄膜で被覆した微
粒子を識別する方法に使用されるSEM電子線の最適加速電圧値を決定する方法であって
、
(i) 3種類以上の元素が支持体表面の異なる領域に薄膜状に堆積されてなる試料を準備
する工程、
(ii) 前記試料の前記元素にSEM電子線を所定の加速電圧値の範囲にわたって照射す
る工程、
(iii) 各前記加速電圧値における前記試料の反射電子画像を得る工程、
(iv) 前記画像に基づいて、各前記元素について下記式:
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
2G001AA03
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001GA06
, 2G001GA09
, 2G001HA07
, 2G001HA13
, 2G001KA01
, 2G001LA01
, 2G001MA05
, 2G001NA06
, 2G001NA07
, 2G001NA10
, 2G001NA12
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G001PA03
, 2G001RA06
, 2G001RA10
