特許
J-GLOBAL ID：201403077705293706
プラズマ生成用電源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-048250
公開番号（公開出願番号）：特開2014-175218
出願日： 2013年03月11日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：
【課題】変調パルスON状態における出力電力の変動を抑制するプラズマ生成用電源装置の提供。【解決手段】パルス変調方式のプラズマ生成用電源装置を、高周波信号11sを出力する発振部11と、発振部11からの高周波信号11sをパルス状高周波信号として出力する変調部12と、変調部12からのパルス状高周波信号のレベルを調整して出力するレベル調整部13と、レベル調整部13から出力される電力を増幅する電力増幅器14と、電力増幅器14からの出力電力値を検出する出力電力検出部15と、出力電力検出部15で検出した出力電力値と設定電力値とに基づき、レベル調整部13で調整されるパルス状高周波信号のレベルを制御するレベル制御信号を、変調部12から出力されるパルス状高周波信号のON状態における複数の経過時間のそれぞれにおいて対応する補正係数に基づき補正して出力する制御部16とを備えるように構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ、パルス状の高周波電力を供給するパルス変調方式のプラズマ生成用電源装置であって、
所定の周波数の高周波信号を出力する発振部と、
前記発振部から出力される高周波信号を、ON状態とOFF状態とを繰り返すパルス状に変調し、パルス状高周波信号として出力する変調部と、
前記変調部から出力されるパルス状高周波信号のレベルを調整して出力するレベル調整部と、
前記レベル調整部から出力されるパルス状高周波信号の電力を増幅してパルス状高周波電力を出力する電力増幅器と、
前記電力増幅器から出力されるパルス状高周波電力の出力電力値を検出する出力電力検出部と、
前記変調部から出力される前記パルス状高周波信号のON状態における複数の経過時間と、該複数の経過時間にそれぞれ対応する複数の補正係数と、予め出力電力の値として設定された設定電力値とを記憶する記憶部と、
前記出力電力検出部で検出した前記出力電力値が入力され、該入力された出力電力値と前記設定電力値とに基づき、前記レベル調整部で調整されるパルス状高周波信号のレベルを制御するレベル制御信号を、前記レベル調整部へ出力する制御部とを備え、
前記制御部は、前記複数の経過時間のそれぞれにおいて、前記経過時間のそれぞれに対応する補正係数に基づき前記レベル制御信号を補正して出力することを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H1/46 R
, H01L21/302 101Z
