特許
J-GLOBAL ID:201403078701785066
3次元形状計測方法および3次元形状計測装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
板谷 康夫
, 田口 勝美
, 水田 愼一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-553773
特許番号:特許第5467321号
出願日: 2012年01月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 物体表面に投影した干渉縞を記録したディジタルホログラムを用いて物体表面の3次元形状を計測する3次元形状計測方法において、
物体表面に単一空間周波数fiを有する干渉縞Fを投影する投影工程と、
前記投影工程によって物体表面に投影した干渉縞Fを受光素子によってホログラムとして記録する記録工程と、
前記記録工程によって記録されたホログラムから焦点距離を変えた複数の再生像を生成し、各再生像における干渉縞Fに対する合焦法の適用によって物体表面の各点までの距離を求める計測工程と、を備え、
前記計測工程は、前記合焦法を適用する際に空間周波数フィルタリングによって前記各再生像から前記干渉縞に対応する単一空間周波数fiの成分を抽出する干渉縞抽出工程を備えることを特徴とする3次元形状計測方法。
IPC (2件):
G01B 11/24 ( 200 6.01)
, G01B 9/021 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01B 11/24 D
, G01B 9/021
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