特許

J-GLOBAL ID：201403079093615248

感圧型センサ

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  グェン ビン キェム ,  グェン ミン ジューン ,  ファン ホアン フォン
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (3件)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-115612
公開番号（公開出願番号）：特開2014-142323
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
要約：

【課題】高感度で圧力、音圧、加速度、ガスなどの情報を検出可能な感圧型センサを実現する。【解決手段】カンチレバー22と、前記カンチレバー22の周囲に設けられ前記カンチレバー22の基端を保持するフレーム23と、前記カンチレバー22と前記フレーム23との間に形成されたギャップ24と、前記ギャップ24を密閉する液体28とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

カンチレバーと、 前記カンチレバーの周囲に設けられ前記カンチレバーの基端を保持するフレームと、 前記カンチレバーと前記フレームとの間に形成されたギャップと、 前記ギャップを密閉する液体と を備えることを特徴とする感圧型センサ。

IPC (5件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84 ,  H04R 17/00 ,  B81B 3/00 ,  G01L 1/18

FI (5件)：

G01L9/00 303A ,  H01L29/84 A ,  H04R17/00 ,  B81B3/00 ,  G01L1/18 A

Fターム (40件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC12 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055FF11 ,  2F055GG11 ,  3C081AA01 ,  3C081BA22 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081BA72 ,  3C081BA76 ,  3C081BA81 ,  3C081EA02 ,  3C081EA03 ,  3C081EA05 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA22 ,  4M112CA23 ,  4M112CA29 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA12 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA14 ,  4M112FA01 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03 ,  5D004AA01 ,  5D004CD01 ,  5D004CD08 ,  5D004DD03 ,  5D004FF09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第5862997号
  

審査官引用 (1件)

• 気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-010594   出願人：財団法人生産技術研究奨励会