特許
J-GLOBAL ID：201403080041367791

インラインシステム

発明者：
関家 一馬

関家 一馬 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-180070
公開番号（公開出願番号）：特開2014-038929
出願日： 2012年08月15日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
要約：
【課題】装置間で被加工物が移送されそれぞれの装置において被加工物の処理が行われるインラインシステムにおいて、装置が正確にレイアウトされていなくても被加工物を装置間で適正に移送する。【解決手段】被加工物を処理する第一の処理手段4と第一の処理手段4によって処理された被加工物を搬出する搬出領域3aとを備えた第一の装置2と、被加工物を搬入する搬入領域7aと搬入された被加工物を処理する第二の処理手段8とを備えた第二の装置6と、搬出領域3aから搬入領域7aに被加工物を移送する移送手段13とを備えたインラインシステム1において、搬出領域3aを撮像し搬出領域3aの位置を検出するとともに搬入領域7aを撮像し搬入領域7aの位置を検出する位置検出手段14を備え、位置検出手段14により検出された搬出領域3a及び搬入領域7aの位置とに基づいて、搬出領域3aから搬入領域7aまで被加工物を移送する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物を処理する第一の処理手段と、該第一の処理手段によって処理された被加工物を搬出する搬出領域とを備えた第一の装置と、 被加工物を搬入する搬入領域と、搬入された被加工物を処理する第二の処理手段とを備えた第二の装置と、 該第一の装置の搬出領域から該第二の装置の搬入領域に被加工物を移送する移送手段とを備えたインラインシステムであって、 該第一の装置の該搬出領域を撮像し該搬出領域の位置を検出するとともに、該第二の装置の該搬入領域を撮像し該搬入領域の位置を検出する位置検出手段を備え、 該位置検出手段により検出された該搬出領域の位置と該搬入領域の位置とに基づいて、該搬出領域から該搬入領域まで被加工物を移送するインラインシステム。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (29件)：
5F057AA12 ,  5F057BA21 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057FA31 ,  5F057GB31 ,  5F131AA02 ,  5F131BA43 ,  5F131BA52 ,  5F131BB03 ,  5F131BB13 ,  5F131CA43 ,  5F131DA22 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB22 ,  5F131DB52 ,  5F131DD03 ,  5F131EA05 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131KA14 ,  5F131KA54 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB08 ,  5F131KB32 ,  5F131KB58
引用特許：
審査官引用 (4件)
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