特許

J-GLOBAL ID：201403080109647526

基板収納容器

発明者： 細井 正人
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 坂本 智弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-264712
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110350
出願日： 2012年12月03日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
要約：

【課題】半導体ウェーハ等の基板を収納して、半導体生産工程で基板を搬送・保管する基板収納容器であって、半導体製造工程内で容易に着脱可能な識別体を提供する。【解決手段】上端部につば部21と、下端部につば部23とを備えた有底柱体20からなる識別体19の下端部のつば部23の外周部に設けた、1対の切欠き26A、26Bに治具を挿入して、有底柱体20の底部を引き出すことにより、ボトムプレート15の識別領域に設けた貫通孔18A、18B、18C、18Dから、識別体19が容易に取り外される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

開口を有し当該開口を通して基板を収納する容器本体と、当該容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底面に着脱自在に取り付けられた、識別領域を備えたボトムプレートと、前記識別領域に着脱自在に取り付けられた識別体と、を含む基板収納容器であって、 前記識別領域は複数の貫通孔を有し、 前記識別体は、上下端部につば部を備えるとともに、上端が解放され、下端部に底を有する有底柱体からなり、 前記有底柱体の下端部の前記つば部の外周部に、治具を着脱可能に取り付ける少なくとも1対の切欠きが設けられ、 前記識別領域に設けられた複数の貫通孔に、同一形状の前記識別体が選択的に取り付けられることを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (44件)：

3E062AA01 ,  3E062AB07 ,  3E062AC02 ,  3E062BB06 ,  3E062BB10 ,  3E062DA02 ,  3E062DA06 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA03 ,  3E096CA05 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA01 ,  3E096DA13 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02Y ,  3E096EA04X ,  3E096EA07X ,  3E096FA30 ,  3E096FA40 ,  3E096GA20 ,  5F131AA02 ,  5F131CA46 ,  5F131DC06 ,  5F131FA14 ,  5F131GA14 ,  5F131GA53 ,  5F131GA63 ,  5F131GA73 ,  5F131GA74 ,  5F131GA76 ,  5F131GA83 ,  5F131GA84 ,  5F131GA85 ,  5F131GA88 ,  5F131GA92 ,  5F131KA12 ,  5F131KB24 ,  5F131KB32 ,  5F131KB38