特許

J-GLOBAL ID：201403080289550541

検査装置

発明者： 楠瀬 治彦
出願人/特許権者： レーザーテック株式会社
代理人 (1件)： 大山 健次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-206531
公開番号（公開出願番号）：特開2014-062940
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：

【課題】ペリクル付きフォトマスクについて、従来検査されていなかったペリクルフレームの内側面を検査できる検査装置を実現する。【解決手段】本発明による検査装置は、光ビームを発生する光源(1)、光源から出射した光ビームによりペリクルフレームの内側面をペリクルフレームの内側面及びペリクル面と平行な第1の方向にそってライン状に走査する走査光学系(3,4)、前記ペリクルフレームの内側面から出射した散乱光を受光する撮像レンズ(8)、及び、撮像レンズから出射した散乱光を受光する撮像装置(9)を有する。また、光学系ステージ又はフォトマスクを第1の方向と直交する第2の方向及び第3の方向に相対移動する手段(11,6)も有する。第1の方向のビーム走査と第2及び第3の方向の相対移動により、ペリクルフレームの内側面並びにパターン面及びペリクル面について2次元走査を行う。これら検査面からの散乱光を検出して散乱光画像を形成し、形成された散乱光画像に基づいて異物欠陥を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ペリクル付きフォトマスクのペリクルフレームの内側面を検査する検査装置であって、 光ビームを発生する光源、光源から出射した光ビームによりペリクルフレームの内側面をペリクルフレームの内側面及びペリクル面と平行な第1の方向にそってライン状に走査する走査光学系、前記ペリクルフレームの内側面から出射した後方散乱光を受光する撮像装置、及び、前記フォトマスクと撮像装置との間に配置され、ペリクルフレームの内側面から出射した後方散乱光を受光し、前記撮像装置上に結像する撮像レンズを含む光学装置と、 前記光学装置を支持する光学系ステージと、 前記フォトマスク又は光学装置を、前記第1の方向及びペリクル面と直交する第2の方向に相対移動させる移動手段と、 前記撮像装置から出力される画像信号を受け取り、ペリクルフレーム内側面の散乱光画像を形成する手段、及び、散乱光画像に基づいてペリクルフレームの内側面に存在する異物を検出する異物検出手段を有する信号処理装置とを具え、 前記走査光学系による第1の方向のビーム走査と前記移動手段による第2の方向の相対移動とにより、ペリクルフレームの内側面を2次元走査することを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

G03F 1/84 ,  G03F 1/62

FI (2件)：

G03F1/84 ,  G03F1/62

Fターム (6件)：

2H095BA01 ,  2H095BC31 ,  2H095BD05 ,  2H095BD08 ,  2H095BD17 ,  2H095BD20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-266844号公報
  
• 特開平4-304454号公報