特許

J-GLOBAL ID：201403080909419106

有機薄膜トランジスタマトリクス及びその製造方法

発明者： 吉野 雄信
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： きさらぎ国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-289065
公開番号（公開出願番号）：特開2014-130970
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：

【課題】信頼性の高い有機薄膜トランジスタマトリクス及びその製造方法を提供する。【解決手段】有機薄膜トランジスタマトリクスは、基板と、この基板上に形成された第1電極及びこの第1電極と電気的に接続された第1配線と、第1配線及び第1配線の表面に形成された絶縁層と、第1配線の少なくとも一部及び第1電極を覆う様に形成された有機機能層と、この有機機能層の上面に第1電極と対向する様に形成された第2電極及び第3電極と、第2電極と接続されて第1配線の有機機能層に覆われた部分で有機機能層を介して第1配線と交差する第2配線とを有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板上に第1電極及びこの第1電極と電気的に接続する第1配線を形成し、 前記第1電極及び前記第1配線の表面に絶縁層を形成し、 前記第1配線の少なくとも一部及び前記第1電極を覆う様に有機機能層を形成し、 前記有機機能層の上面に前記第1電極と対向する様に第2電極及び第3電極を形成すると共に、前記第2電極と電気的に接続する第2配線を、前記第1配線の前記有機機能層に覆われた部分で前記有機機能層を介して前記第1配線と交差するように形成する ことを特徴とする有機薄膜トランジスタマトリクスの製造方法。

IPC (15件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G09F 9/30 ,  H01L 51/05 ,  H01L 27/28 ,  H01L 27/115 ,  H01L 21/824 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/423 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/532 ,  H01L 23/522

FI (17件)：

H01L29/78 617V ,  G09F9/30 338 ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 617U ,  H01L29/78 617M ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 500 ,  H01L27/10 434 ,  H01L29/78 371 ,  H01L27/10 449 ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/58 G ,  H01L21/90 S ,  H01L21/90 L ,  H01L21/90 M ,  H01L21/90 Q ,  H01L21/90 W

Fターム (123件)：

4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD34 ,  4M104DD37 ,  4M104DD51 ,  4M104DD63 ,  4M104DD68 ,  4M104DD80 ,  4M104DD81 ,  4M104DD89 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE16 ,  4M104EE18 ,  4M104FF01 ,  4M104FF02 ,  4M104FF06 ,  4M104FF09 ,  4M104FF26 ,  4M104GG09 ,  4M104GG16 ,  5C094AA31 ,  5C094BA03 ,  5C094DA13 ,  5C094FB01 ,  5C094FB14 ,  5C094GB10 ,  5F033GG00 ,  5F033GG03 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH21 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ42 ,  5F033QQ53 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ74 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ89 ,  5F033QQ91 ,  5F033QQ96 ,  5F033RR03 ,  5F033RR21 ,  5F033SS22 ,  5F033SS26 ,  5F033SS27 ,  5F033TT04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV16 ,  5F033XX31 ,  5F033XX33 ,  5F083EP02 ,  5F083EP23 ,  5F083EP43 ,  5F083EP44 ,  5F083EP45 ,  5F083EP54 ,  5F083EP56 ,  5F083EP57 ,  5F083FZ07 ,  5F083GA03 ,  5F083GA24 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083JA01 ,  5F083JA03 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F101BA01 ,  5F101BA26 ,  5F101BA35 ,  5F101BA36 ,  5F101BB05 ,  5F101BD02 ,  5F101BD30 ,  5F101BF08 ,  5F101BH04 ,  5F110AA14 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE03 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF09 ,  5F110FF21 ,  5F110FF22 ,  5F110FF24 ,  5F110FF25 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110GG05 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK32 ,  5F110NN73