特許

J-GLOBAL ID：201403083193390674

切削装置

発明者： 中西 優爾
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-129215
公開番号（公開出願番号）：特開2013-254834
出願日： 2012年06月06日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：

【課題】切削装置が大型化しても切削ブレードへのアクセスがし易く、切削ブレード交換等の作業性が向上する切削装置を提供すること。【解決手段】切削装置1はハウジング2と保持テーブル移動手段によりX軸方向に移動される保持テーブル10と切削手段移動機構によりY軸方向に移動される切削手段20とハウジング2の操作面カバー6のX軸方向片側にカセット載置部9を具備している。切削手段移動機構はY軸方向に保持テーブル移動手段を跨ぎハウジング2の操作面カバー6まで伸長して配設されている。カセット載置部9の切削手段移動機構を挟んだX軸方向他側にはメンテナンス空間Kが設けられている。操作面カバー6の端部6aには切削手段20のメンテナンスを行うための開口50が形成されている。開口50からは切削手段移動機構により操作面カバー6側まで移動された切削手段20をメンテナンス可能である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

作業者が装置の操作を行う操作パネルが前面に配設された操作面カバーと、該操作面カバーの反対側に配置された背面カバーと、該操作面カバーと該背面カバーとを連結する側面カバーとにより形成されたハウジングによって囲繞される切削装置であって、 被加工物を上面に保持する保持テーブルと、 該保持テーブルを該操作面カバーと平行なX軸方向に移動させる保持テーブル移動手段と、 該保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた1以上の切削手段と、 該X軸方向と直交するY軸方向に該保持テーブル移動手段を跨ぎ該操作面カバーまで伸長して配設され、該切削手段をY軸方向に移動させる切削手段移動機構と、 該ハウジングの該操作面カバー側のX軸方向片側に設けられかつ該被加工物を載置したカセットを載置するカセット載置部と、を具備し、 該ハウジングの該カセット載置部の該切削手段移動機構を挟んだX軸方向他側には、該保持テーブル移動手段および該切削手段移動機構に干渉しない範囲で該操作面カバー及び該側面カバーにハウジングの角から所定幅凹みのメンテナンス空間が設けられており、 該メンテナンス空間の内壁面には該切削手段のメンテナンスを行うための開口が形成されており、 該開口からは、該切削手段移動機構により該操作面カバー側まで移動された該切削手段と近接してメンテナンス可能であることを特徴とする切削装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-391953   出願人：株式会社ディスコ
• 切削機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-162958   出願人：株式会社ディスコ