特許
J-GLOBAL ID：201403083648924389
ハンドラーおよび検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-146018
公開番号（公開出願番号）：特開2014-010018
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：
【課題】部品保持部の配設ピッチを変化させることのできるハンドラーにおいて、部品点数の少ないハンドラーおよび検査装置を提供すること。【解決手段】本発明のハンドラーは、基部75と、基部75に固定された第1支持部71と、第1支持部71に支持された吸着ノズル713と、第1支持部71に対してY方向に移動可能な第1移動部715と、第1移動部715に支持された吸着ノズル718と、基部75にX方向に移動可能な第2支持部72と、第2支持部72に支持された吸着ノズル723と、第2支持部72に対してY方向に移動可能な第2移動部725と、第2移動部725に支持された吸着ノズル728と、第1、第2移動部715、725を一体的にY方向へ移動させ、吸着ノズル713、723と吸着ノズル718、728の離間距離を変化させるY方向移動機構と、第1、第2支持部71、72の離間距離を変化させるX方向移動機構76とを有する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
互いに直交する3つの方向を第1方向、第2方向および第3方向としたとき、
基部と、
前記基部に固定され、動作時において前記基部に対して相対位置が変わらない第1支持部と、
前記第1支持部に支持され、前記第1支持部に対して前記第3方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第1部品保持部と、
前記第1支持部に支持され、前記第1支持部に対して前記第2方向に移動可能な第1移動部と、
前記第1移動部に支持され、前記第1部品保持部に対して前記第2方向に位置するとともに、前記第1移動部に対して前記第3方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第2部品保持部と、
前記基部に支持され、前記第1支持部に対して前記第1方向に位置するとともに、前記基部に対して前記第1方向に移動可能な第2支持部と、
前記第2支持部に支持され、前記第2支持部に対して前記第3方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第3部品保持部と、
前記第2支持部に支持され、前記第2支持部に対して前記第2方向に移動可能な第2移動部と、
前記第2移動部に支持され、前記第3部品保持部に対して前記第2方向に位置するとともに、前記第2移動部に対して前記第3方向に移動可能に設けられ、かつ、部品を保持する第4部品保持部と、
前記第1移動部および前記第2移動部を一体的に前記第2方向へ移動させ、前記第1部品保持部と前記第2部品保持部の前記第2方向の離間距離および前記第3部品保持部と前記第4部品保持部の前記第2方向の離間距離を共に変化させる第1移動機構と、
前記第2支持部を前記第1方向に移動させ、前記第1支持部と前記第2支持部の前記第1方向の離間距離を変化させる第2移動機構と、を有することを特徴とするハンドラー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
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