特許
J-GLOBAL ID：201403084305900472
TSV測定用干渉計及びこれを用いた測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505083
公開番号（公開出願番号）：特表2014-514559
出願日： 2012年04月13日
公開日（公表日）： 2014年06月19日
要約：
【課題】TSV測定用干渉計及びこれを用いた測定方法を提供する。【解決手段】本発明に係るTSV測定用干渉計は、TSV測定の際、TSVの入口と床面に光の焦点が調節されるようにする可変型フィールドストップを用いてTSVの直径及び深さを測定し、測定時間及び結果データの容量を減らすことができ、TSVに入射される光が実質的に直線光になるようにするテレセントリックレンズを用いて、TSVのようなアスペクト比の大きい場合でも、床面まで到達する光量が確保されて測定の正確度を向上させることができるTSV測定用干渉計及びこれを用いた測定方法が提供される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
光源から生成した光が入射されて互いに垂直の第1方向と第2方向に分割して出力し、前記第1方向と第2方向から入力される光を結合して、結合光で出力するビームスプリッタ、
前記第1方向または前記第2方向にそれぞれ配置され、前記ビームスプリッタから出力された出力光が入力された後、前記ビームスプリッタに反射するミラー、
前記ミラー、及び、少なくとも1つのTSVが形成された測定対象物から反射され、前記ビームスプリッタから出力された結合光の入力を受け、前記結合光を介して干渉信号が形成される撮像手段、
前記ビームスプリッタと前記撮像手段の間に位置するか、前記ビームスプリッタと前記測定対象物の間に位置する対物レンズ、および、
前記ビームスプリッタと前記撮像手段の間に位置し、前記測定対象物に分割された光の焦点が前記TSVの入口である基準位置と前記TSVの床面である可変位置に調節されるようにする可変型フィールドストップを含み、
前記基準位置での干渉信号と前記可変位置での干渉信号に基づいて、前記ビアホールの直径と深さを測定するTSV測定用干渉計。
IPC (3件)：
G01B 11/22
, G01B 9/02
, G01B 11/08
G01B11/22 G
, G01B9/02
, G01B11/08 G
2F064AA02
, 2F064EE01
, 2F064FF07
, 2F064GG00
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG65
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F065AA25
, 2F065AA27
, 2F065CC19
, 2F065FF52
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065GG24
, 2F065GG25
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL59
